基于高κ栅介质的高性能Ⅲ-Ⅴ族晶体管研究
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基于高κ栅介质的高性能Ⅲ-Ⅴ族晶体管研究
论文目录
摘要
第1-7页
Abstract
第7-12页
1 绪论
第12-24页
1.1 引言
第12-14页
1.2 Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体表面钝化简介
第14-18页
1.3 高κ栅介质Ⅲ-Ⅴ族化合物晶体管发展历程
第18-21页
1.4 本论文的研究内容
第21-24页
2 化合物半导体工艺优化
第24-34页
2.1 引言
第24页
2.2 基于原子层沉积的高k介质
第24-29页
2.3 刻蚀
第29-30页
2.4 欧姆接触
第30-32页
2.5 本章小结
第32-34页
3 砷化镓金属氧化物半导体场效应晶体管
第34-50页
3.1 引言
第34页
3.2 制备流程
第34-35页
3.3 氧化层界面与晶体管输运特性关联
第35-40页
3.4 基于电导法的界面特性表征
第40-46页
3.5 基于传输线模型的界面缺陷模型
第46-48页
3.6 本章小结
第48-50页
4 铝镓氮/氮化镓金属氧化物半导体高电子迁移率晶体管
第50-79页
4.1 氮化镓基晶体管发展与挑战
第50-55页
4.2 制备流程
第55-56页
4.3 高κ栅介质与金属绝缘体半导体电容关联
第56-59页
4.4 高κ栅介质与晶体管特性关联
第59-68页
4.5 氟基凹槽栅铝镓氮/氮化镓金属氧化物场效应晶体管
第68-74页
4.6 栅极注入型铝镓氮/氮化镓高电子迁移率晶体管
第74-77页
4.7 本章小结
第77-79页
5 铟镓砷环栅纳米线金属氧化物半导体场效应晶体管
第79-95页
5.1 引言
第79页
5.2 制备流程
第79-81页
5.3 超薄环型栅极漏电
第81-84页
5.4 低温输运特性
第84-94页
5.5 本章小结
第94-95页
6 铟镓砷纳米线金属氧化物半导体场效应晶体管磁特性
第95-107页
6.1 引言
第95页
6.2 纳米线晶体管中的磁输运
第95-99页
6.3 磁阻效应的调控
第99-106页
6.4 本章小结
第106-107页
7 总结与展望
第107-110页
致谢
第110-112页
参考文献
第112-125页
附录 攻读博士学位期间发表论文目录
第125页
本篇论文共
125
页,
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。
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