面向晶圆传输的接触面微力与粘滑传感器研究



面向晶圆传输的接触面微力与粘滑传感器研究

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面向晶圆传输的接触面微力与粘滑传感器研究

论文目录
摘要	第1-5页
Abstract	第5-9页
第1章绪论	第9-18页
· 课题背景及研究的目的和意义	第9-11页
· 国内外研究发展现状	第11-17页
· 微力与粘滑传感器国外研究现状	第11-14页
· 微力与粘滑传感器国内研究现状	第14-15页
· 研究现状小结	第15-17页
· 课题来源	第17页
· 主要研究内容	第17-18页
第2章接触面微力与粘滑传感器系统设计	第18-27页
· 引言	第18页
· 晶圆传输接触面典型参数分析	第18-19页
· 接触面微力与粘滑传感器的性能指标	第19-20页
· 接触面微力与粘滑传感器系统方案	第20-26页
· 微力检测原理	第21-24页
· 粘滑动态感知原理	第24-26页
· 本章小结	第26-27页
第3章接触面微力与粘滑传感器本体设计	第27-41页
· 引言	第27页
· 接触面微力与粘滑传感器整体架构	第27-28页
· 微力传感器本体设计	第28-30页
· 微力传感器结构设计	第28-29页
· 微力传感器样机制作	第29-30页
· 粘滑动态传感器本体设计	第30-40页
· 圆柱形永磁铁空间磁感强度分析	第30-34页
· 圆柱形永磁铁结构设计	第34-35页
· 电感阵列结构设计	第35-36页
· 弹性体结构设计	第36-39页
· 粘滑动态传感器样机制作	第39-40页
· 本章小结	第40-41页
第4章接触面微力与粘滑传感器信号处理	第41-49页
· 引言	第41页
· 微力传感器信号处理	第41-42页
· 粘滑动态传感器信号处理	第42-48页
· 前置放大	第42-44页
· 信号滤波	第44-46页
· 抗干扰处理	第46-48页
· 本章小结	第48-49页
第5章接触面微力与粘滑传感器性能实验研究	第49-61页
· 引言	第49页
· 实验系统建立	第49-50页
· 微力传感器样机性能测试实验	第50-55页
· Z 向力加载和卸载实验	第51-53页
· XZ 向与YZ 向力加载和卸载实验	第53-55页
· 粘滑动态传感器样机性能测试实验	第55-59页
· 速度跟随特性实验	第55-57页
· 速度测量特性实验	第57-59页
· 本章小结	第59-61页
结论	第61-62页
参考文献	第62-68页
攻读学位期间发表的学术论文	第68-70页
致谢	第70页

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