软刻蚀用母模板的聚焦离子束刻蚀技术制备研究



软刻蚀用母模板的聚焦离子束刻蚀技术制备研究

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软刻蚀用母模板的聚焦离子束刻蚀技术制备研究

论文目录
摘要	第1-5页
Abstract	第5-9页
1 绪论	第9-23页
· 引言	第9-11页
· PDMS软模板	第11-21页
· PDMS软模板的研究进展	第11-13页
· PDMS软模板的应用	第13-14页
· PDMS软模板的制作技术	第14-21页
· 研究内容及创新点	第21-22页
· 课题来源	第21页
· 研究内容	第21-22页
· 本课题的创新点	第22页
· 论文内容安排	第22-23页
2 基于FIB刻蚀技术制作三维软刻蚀用母模板	第23-32页
· 聚焦离子束技术实验原理	第23-26页
· 基于FIB刻蚀技术在Si基底三维微结构的制备	第26-28页
· FIB刻蚀束流对Si基底表面三维微结构制作的影响	第28-30页
· 小结	第30-32页
3 基于软刻蚀用母模板制作PDMS软模板	第32-43页
· 低表面能物质处理基底表面	第32-33页
· 超疏水表面润湿性能的理论基础	第32-33页
· 在基底表面构建疏水性表面	第33页
· 接触角测量原理	第33-36页
· 基于母模板倒模实验过程	第36-42页
· 实验材料	第36-39页
· Si基底的清洗	第39页
· 硅烷烃修饰Si基底表面	第39-40页
· 基于三维结构母模板制作PDMS软模板	第40-42页
· 小结	第42-43页
4 PDMS软模板的表征及分析	第43-60页
· 软刻蚀用母模板三维微结构表征	第43-49页
· Si接触角表征	第49-51页
· PDMS软模板结构表征	第51-59页
· 小结	第59-60页
5 下一步工作展望	第60-61页
结论	第61-62页
致谢	第62-63页
参考文献	第63-68页
攻读硕士学位期间发表的学术论文及研究成果	第68页

本篇论文共68页，点击这进入下载页面。

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