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BiFeO3纳米纤维压电式压力传感器的研究
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BiFeO3纳米纤维压电式压力传感器的研究
论文目录
 
摘要第1-4页
ABSTRACT第4-8页
第一章 绪论第8-21页
　　· 课题背景和意义第8-10页
　　· MEMS压力传感器介绍第10-15页
　　　　· MEMS传感器分类第10-12页
　　　　· MEMS压力传感器应用第12-13页
　　　　· MEMS压力传感器研究现状第13-15页
　　· 压电材料论述第15-20页
　　　　· 压电材料介绍第15-17页
　　　　· 压电材料研究进展第17-20页
　　· 课题主要研究内容第20-21页
第二章 压电式纤维压力传感器结构设计第21-25页
　　· 压电式压力传感器结构和工作原理第21-22页
　　· 压电式压力传感器尺寸设计第22-24页
　　· 本章小结第24-25页
第三章 压电式纳米纤维压力传感器制备工艺研究第25-39页
　　· 压电式纳米纤维压力传感器基底工艺第25-34页
　　　　· 基底工艺流程的设计第25-27页
　　　　· 正面叉指型平行电极的制作第27-30页
　　　　· 压力弹性薄膜的制作第30-33页
　　　　· 传感器基底制作结果与工艺分析第33-34页
　　· 压电式压力传感器静电纺丝工艺第34-38页
　　　　· 静电纺丝BFO纳米纤维工艺设计第34页
　　　　· 静电纺丝BFO纳米纤维工艺过程第34-36页
　　　　· BFO纳米纤维取向控制与工艺分析第36-38页
　　· 本章小结第38-39页
第四章 压电式压力传感器测试平台的制作与调试第39-49页
　　· 测试系统原理与组成第39-40页
　　· 密封容器的设计第40-41页
　　· 测试平台其他零件选择第41-43页
　　· 检测电路硬件设计第43-46页
　　· 传感器测试平台的调试第46-48页
　　· 本章小结第48-49页
第五章 BFO纳米纤维表征以及传感器的测试实验第49-56页
　　· BFO纳米纤维性能与表征第49-52页
　　　　· BFO纤维退火形貌第49-51页
　　　　· XRD图谱与分析第51-52页
　　　　· 纤维SEM分析第52页
　　· BFO纳米纤维压电式压力传感器测试实验研究第52-55页
　　· 本章小结第55-56页
第六章 结论与展望第56-58页
　　· 结论第56-57页
　　· 展望第57-58页
参考文献第58-62页
附录第62-67页
在学期间研究成果第67-68页
致谢第68页

本篇论文共68页，点击这进入下载页面。
 
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