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基于SOI压力和磁场多功能传感器集成化研究

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基于SOI压力和磁场多功能传感器集成化研究
论文目录
 
中文摘要第1-4页
Abstract第4-9页
第1章 绪论第9-23页
  · 多功能集成化传感器研究现状第9-20页
    · 多功能集成化传感器国内研究现状第9-17页
    · 多功能集成化传感器国外研究现状第17-20页
  · 研究目的和意义第20-21页
    · 研究目的第20-21页
    · 研究意义第21页
  · 论文主要研究内容第21-23页
第2章 基于SOI压力和磁场多功能传感器基本结构和工作原理第23-31页
  · 基于SOI压力和磁场多功能传感器基本结构第23-24页
  · 基于SOI压力和磁场多功能传感器压敏结构工作原理第24-27页
    · 压阻效应第24-26页
    · 压敏结构工作原理第26-27页
  · 基于SOI压力和磁场多功能传感器磁敏结构工作原理第27-30页
    · 磁敏二极管理论模型第27-29页
    · 磁敏二极管理论分析第29-30页
  · 本章小结第30-31页
第3章 基于SOI压力和磁场多功能传感器特性仿真第31-39页
  · 基于SOI压力和磁场多功能传感器压敏特性仿真第31-35页
    · 硅膜形状和厚度仿真分析第31-34页
    · 压敏特性仿真结构第34页
    · 压敏特性仿真结果第34-35页
  · 基于SOI压力和磁场多功能传感器磁敏特性仿真第35-38页
    · 磁敏特性仿真结构模型第36-37页
    · 磁敏特性仿真结果第37-38页
  · 本章小结第38-39页
第4章 基于SOI压力和磁场多功能传感器芯片结构设计第39-59页
  · 基于SOI压力和磁场多功能传感器压敏结构设计第39-58页
    · 半导体材料选择第39页
    · C型硅杯弹性硅膜形状选择第39-54页
    · 方形硅膜设计第54-55页
    · 电阻分布位置设计第55-58页
  · 基于SOI压力和磁场多功能传感器磁敏结构设计第58页
  · 本章小结第58-59页
第5章 基于SOI压力和磁场多功能传感器芯片制作与封装第59-64页
  · 基于SOI压力和磁场多功能传感器芯片版图设计第59-60页
  · 基于SOI压力和磁场多功能传感器芯片制作工艺第60-61页
  · 基于SOI压力和磁场多功能传感器芯片封装第61-63页
  · 本章小结第63-64页
第6章 实验结果与分析第64-82页
  · 多功能传感器压敏特性的影响因素第64-68页
    · 扩散电阻掺杂浓度对压敏特性的影响第64-65页
    · 扩散电阻尺寸及分布位置对压敏特性的影响第65-67页
    · 方形硅膜厚度对压敏特性的影响第67-68页
  · 多功能传感器压敏结构静态特性第68-77页
    · 外加磁场B=0 T时,多功能传感器压敏结构静态特性第68-75页
    · 外加磁场B≠0 T时,多功能传感器压敏结构静态特性第75-77页
  · 多功能传感器磁敏特性第77-80页
    · 外加压力P=0 kPa时,多功能传感器磁敏特性第77-79页
    · 外加压力P≠0 kPa时,多功能传感器磁敏特性第79-80页
  · 本章小结第80-82页
结论第82-83页
参考文献第83-90页
附录第90-97页
致谢第97-98页
攻读学位期间发表论文第98页
攻读学位期间科研项目第98页

本篇论文共98页,点击这进入下载页面
 
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