湿度对石墨烯/硅肖特基结电学特性影响的研究



湿度对石墨烯/硅肖特基结电学特性影响的研究

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湿度对石墨烯/硅肖特基结电学特性影响的研究

论文目录
致谢	第1-5页
摘要	第5-6页
Abstract	第6-8页
缩略词表	第8-13页
1 绪论	第13-33页
1.1 课题研究背景	第13页
1.2 石墨烯与湿度简介	第13-27页
1.2.1 石墨烯	第13-21页
1.2.2 湿度	第21-23页
1.2.3 湿度传感器	第23-27页
1.3 石墨烯/硅肖特基器件研究现状	第27-30页
1.4 论文研究内容与章节安排	第30-33页
1.4.1 论文的研究内容	第30-31页
1.4.2 各章节内容安排	第31-33页
2 石墨烯/硅肖特基器件工艺研究	第33-43页
2.1 器件制备工艺	第33-40页
2.1.1 工艺路线流程	第33-35页
2.1.2 三次光刻	第35-37页
2.1.3 石墨烯转移与刻蚀	第37-39页
2.1.4 外围测试电路	第39-40页
2.2 工艺优缺点、改进与分析	第40-42页
2.3 本章小结	第42-43页
3 湿度对石墨烯/硅肖特基结的影响	第43-63页
3.1 简介	第43页
3.2 石墨烯/硅肖特基接触	第43-44页
3.3 器件表征	第44-47页
3.3.1 拉曼表征	第44-45页
3.3.2 SEM表征	第45-46页
3.3.3 AFM表征	第46-47页
3.4 湿度测试系统	第47-48页
3.5 测试结果	第48-58页
3.5.1 性能分析	第48-49页
3.5.2 i-v特性分析	第49-53页
3.5.3 c-v特性分析	第53-54页
3.5.4 MESFET实验	第54-57页
3.5.5 器件性能	第57-58页
3.5.6 结果分析	第58页
3.6 理论分析	第58-61页
3.6.1 能带结构	第58-59页
3.6.2 吸附理论	第59-60页
3.6.3 掺杂理论	第60-61页
3.6.4 水分子渗透理论	第61页
3.7 本章小结	第61-63页
4 氧化石墨烯湿度传感器	第63-71页
4.1 简介	第63页
4.2 GO/Gr/Si异质结湿度传感器	第63-68页
4.2.1 Gr/Si肖特基结器件	第63-64页
4.2.2 GO敏感层	第64-65页
4.2.3 GO/Gr/Si性能初步研究	第65-68页
4.3 本章小结	第68-71页
5 总结与展望	第71-75页
5.1 论文的主要内容	第71-72页
5.2 论文的不足之处	第72-73页
5.3 结束语	第73-75页
参考文献	第75-81页
作者简历及在攻读硕士学位期间取得的科研成果	第81-82页

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