压电半导体薄膜断裂性能研究
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压电半导体薄膜断裂性能研究
论文目录
摘要
第1-6页
Abstract
第6-9页
1 引言
第9-15页
1.1 选题意义
第9页
1.2 压电半导体断裂研究现状
第9-12页
1.3 压痕测试技术研究现状
第12-14页
1.4 论文主要工作
第14-15页
2 三维压电半导体介质断裂分析
第15-43页
2.1 基本方程
第15-17页
2.2 一般解
第17-19页
2.3 广义不连续位移基本解
第19-32页
2.3.1 作用垂直于裂纹平面不连续位移的基本解
第21-27页
2.3.2 作用平行于裂纹平面不连续位移的基本解
第27-32页
2.4 不连续位移边界元方法
第32-34页
2.5 数值算例
第34-42页
2.6 本章小结
第42-43页
3 多层薄膜系统的有限元方法研究
第43-59页
3.1 压痕测试技术基本原理
第43-45页
3.2 单层薄膜-基体模型有限元分析
第45-51页
3.2.1 模型
第46-48页
3.2.2 半经验公式
第48-49页
3.2.3 半经验公式验证
第49-51页
3.3 双层薄膜-基体模型有限元分析
第51-55页
3.3.1 模型
第52页
3.3.2 半经验公式
第52-53页
3.3.3 半经验公式验证
第53-55页
3.4 多层薄膜-基体模型有限元分析
第55-58页
3.5 本章小结
第58-59页
4 结束语
第59-61页
4.1 结论
第59页
4.2 创新点
第59-60页
4.3 展望
第60-61页
参考文献
第61-66页
附录
第66-68页
附录A:行列式L展开式中的系数
第66页
附录B: 矩阵L第三行元素余子式中的系数
第66-67页
附录C: 位移场和应力场相关系数
第67-68页
个人简历、在校期间发表的学术论文及研究成果
第68-69页
致谢
第69页
本篇论文共
69
页,
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。
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