教育论文网

砷化镓表面运动约束刻蚀抛光实验与仿真研究
硕士博士毕业论文站内搜索    
分类：教育论文网→工业技术论文→无线电电子学、电信技术论文→半导体技术论文→一般性问题论文→半导体器件制造工艺及设备论文→表面处理论文
砷化镓表面运动约束刻蚀抛光实验与仿真研究
论文目录
 
摘要第1-5页
Abstract第5-8页
第1章 绪论第8-18页
　　1.1 课题来源及研究的背景和意义第8-10页
　　　　1.1.1 课题的来源第8页
　　　　1.1.2 课题研究的背景和意义第8-10页
　　1.2 国内外研究现状与分析第10-17页
　　　　1.2.1 现有抛光加工方法概述第10-14页
　　　　1.2.2 约束刻蚀剂层技术的研究现状第14-16页
　　　　1.2.3 研究现状分析第16-17页
　　1.3 论文的主要研究内容第17-18页
第2章 运动模式约束刻蚀抛光的原理与实现第18-33页
　　2.1 引言第18页
　　2.2 约束刻蚀剂层技术基本反应原理第18-19页
　　2.3 约束刻蚀剂层技术用于抛光加工的原理第19-24页
　　　　2.3.1 化学抛光加工的原理第19-22页
　　　　2.3.2 约束刻蚀剂层技术用于抛光加工的原理分析第22-24页
　　2.4 运动模式约束刻蚀抛光工艺的实现第24-32页
　　　　2.4.1 化学反应体系第24-25页
　　　　2.4.2 电化学微纳米加工平台第25-28页
　　　　2.4.3 运动模式约束刻蚀抛光工艺的实验方法第28-31页
　　　　2.4.4 刻蚀结果的表征第31-32页
　　2.5 本章小结第32-33页
第3章 运动模式约束刻蚀抛光的工艺实验研究第33-54页
　　3.1 引言第33页
　　3.2 实验方案设计第33-36页
　　　　3.2.1 无约束剂三因素实验方案第34-35页
　　　　3.2.2 含约束剂三因素实验方案第35-36页
　　　　3.2.3 约束剂浓度与运动速度的两因素实验方案第36页
　　3.3 实验结果与统计分析第36-49页
　　　　3.3.1 实验结果第36-41页
　　　　3.3.2 选择回归模型第41-43页
　　　　3.3.3 回归模型方差分析第43-45页
　　　　3.3.4 响应面结果与讨论第45-49页
　　3.4 运动约束刻蚀抛光加工表面形貌对比分析第49-53页
　　　　3.4.1 制作对比样品第49-50页
　　　　3.4.2 表面形貌的对比第50-53页
　　3.5 本章小结第53-54页
第4章 运动模式约束刻蚀抛光过程的仿真研究第54-74页
　　4.1 引言第54页
　　4.2 三维约束刻蚀流场的有限元仿真模拟第54-60页
　　　　4.2.1 三维运动约束刻蚀稳态有限元模型的建立第55-57页
　　　　4.2.2 三维稳态模型的设定第57-58页
　　　　4.2.3 三维约束刻蚀浓度分布的稳态求解分析第58-60页
　　4.3 二维动网格约束刻蚀过程有限元分析第60-64页
　　　　4.3.1 二维动网格约束刻蚀过程有限元建立第61页
　　　　4.3.2 二维动网格约束刻蚀有限元模型的设定第61-63页
　　　　4.3.3 二维动网格约束刻蚀过程有限元分析第63-64页
　　4.4 实验过程的有限元仿真分析第64-73页
　　　　4.4.1 无约束剂三因素实验过程的仿真模拟第64-67页
　　　　4.4.2 含约束剂三因素实验过程的仿真模拟第67-69页
　　　　4.4.3 运动参数对约束刻蚀过程的影响作用分析第69-73页
　　4.5 本章小结第73-74页
结论第74-75页
参考文献第75-80页
攻读硕士学位期间发表的学术论文第80-82页
致谢第82页

本篇论文共82页，点击这进入下载页面。
 
更多论文
砷化镓表面运动约束刻蚀抛光实验与
多自由度精密运动平台机械参数软测
闭环迭代学习策略及其在光刻机精密
积分和二阶滑模控制在光刻机双工件
主从式宏微定位平台的分数阶控制方
面向非线性特性的超精密平台辨识和
精密六自由度运动机构动态性能优化
周期性二维微纳光学结构的制备
纳米压印设备的优化改进
公自转系统同步控制研究
单晶硅的超声波辅助振动磨削
表面缺陷结构对硅基材料大气等离子
高压快速软恢复二极管研究
GaN基大功率LED芯片散热研究与优化
LED恒流驱动与智能保护芯片的研究与
大功率LED散热模拟与优化设计
高压4H-SiC PiN二极管的结构优化与
PIN限幅二极管微波击穿效应机理研究
P型NiO透明导电氧化物薄膜制备及其
一种垂直型恒流二极管的研究与设计
高压SiC JBS二极管的设计优化与实验
一种新型白光LED荧光粉层结构的设计
一款具有Flicker-Free功能的交流驱
一种具有模拟及数字调光的LED驱动电
一种具有超势垒结构的高压二极管设
Si基GaN横向功率二极管新结构研究
SiC功率二极管的结构与电特性分析研
基于延迟荧光材料的高效率有机发光
高效旋涂有机发光二极管的研究
石墨烯硅基光电二极管的研究
LED晶圆片的快速模板匹配算法研究
氟硫矿化剂对高C3S水泥
热历史对高C3S水泥熟料
LED用图形化蓝宝石衬底的酸刻蚀行为
基于有机电化学晶体管的miRNA24生物
基于有机电化学晶体管的肿瘤细胞传
应用于牵引传动的大功率IGBT的建模
IGBT的辐照效应仿真分析与加固研究
一种1200V场截止型IGBT的优化设计与
p型SnO薄膜晶体管的制备及性能研究
600V Trench FS IGBT的设计
关于氮氧锌薄膜晶体管技术研究
600V逆导型FS-IGBT设计
a-IGZO薄膜晶体管的制备及界面接触
高压IGBT的失效机理分析
射频LDMOS功率晶体管的特性研究
基于噻吩的有机薄膜晶体管气体传感
氧化物栅介质薄膜晶体管的制备及性
1200V逆导型Trench FS IGBT的设计
基于溶液法制备的ZrO2介
铟锡锌氧化物薄膜晶体管的制备与特
机械应力下多晶硅薄膜晶体管和负栅
3DK2222A型NPN双极晶体管位移损伤缺
氢对3DG110晶体管1 MeV电子辐照损伤
MOS控制的晶闸管（MCT）的仿真与研
发射极开关晶闸管（EST）的仿真与研
复合型电荷传输层在量子点器件中的
OLED铟封装技术的研究
三维增强型AlGaN/GaN HEMT的仿真分
 
砷化镓论文 约束刻蚀剂层技术论文 响应面法论文 有限元仿真论文 抛光平整论文
版权申明：目录由用户王**提供，www.51papers.com仅收录目录，作者需要删除这篇论文目录请点击这里。
| 设为首页||加入收藏||站内搜索引擎||站点地图||在线购卡|
版权所有 教育论文网 Copyright(C) All Rights Reserved