Si基GaN横向功率二极管新结构研究



Si基GaN横向功率二极管新结构研究

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Si基GaN横向功率二极管新结构研究

论文目录
摘要	第1-6页
ABSTRACT	第6-10页
第一章绪论	第10-16页
1.1 研究背景	第10-11页
1.2 国内外研究现状	第11-15页
1.3 本文研究内容	第15-16页
第二章 AlGaN/GaN异质结器件理论与制造技术	第16-28页
2.1 AlGaN/GaN的极化效应	第16-19页
2.2 AlGaN/GaN SBD工作原理	第19-21页
2.3 GaN功率器件制备技术	第21-27页
2.4 本章小结	第27-28页
第三章 MIS栅混合阳极二极管的设计与仿真	第28-47页
3.1 传统GaN功率二极管性能分析	第28-34页
3.2 MIS栅混合阳极二极管的设计	第34-43页
3.2.1 器件结构及工作原理	第35-37页
3.2.2 器件导通模型	第37-38页
3.2.3 反向特性分析	第38-40页
3.2.4 温度稳定性分析	第40-41页
3.2.5 栅下势垒层厚度选择	第41-43页
3.3 MIS栅混合阳极二极管的仿真	第43-46页
3.3.1 正向导通特性	第44页
3.3.2 反向耐压特性	第44-46页
3.4 本章小结	第46-47页
第四章 MIS栅混合阳极二极管的研制与测试	第47-74页
4.1 工艺流程	第47-53页
4.2 关键工艺研究	第53-66页
4.2.1 欧姆接触优化方法	第54-62页
4.2.2 刻蚀工艺监测方法	第62-66页
4.3 测试及分析	第66-73页
4.3.1 正向导通测试	第66-69页
4.3.2 反向耐压测试	第69-71页
4.3.3 变温测试	第71-73页
4.4 本章小结	第73-74页
第五章总结与展望	第74-76页
5.1 结论	第74-75页
5.2 展望	第75-76页
致谢	第76-77页
参考文献	第77-82页
攻读硕士学位期间取得的研究成果	第82-83页

本篇论文共83页，点击这进入下载页面。

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