双级解耦微机械陀螺的结构设计及特性研究



双级解耦微机械陀螺的结构设计及特性研究

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双级解耦微机械陀螺的结构设计及特性研究

论文目录
摘要	第1-6页
Abstract	第6-7页
致谢	第7-14页
第一章绪论	第14-20页
· 微机电系统(MEMS)的发展概况	第14-16页
· 微机械陀螺的技术分类及发展概况	第16-17页
· 微机械陀螺的设计问题及技术难点	第17-19页
· 本文的主要内容	第19-20页
第二章电容式微机械陀螺的工作原理和误差分析	第20-28页
· 电容式微机械陀螺的工作原理	第20-26页
· 科氏加速度原理及在陀螺中的应用	第20-22页
· 非解耦式微机械陀螺原理	第22-24页
· 单级解耦式微机械陀螺原理	第24-26页
· 电容式微机械陀螺的误差分析	第26-27页
· 机械耦合误差	第26-27页
· 悬浮效应	第27页
· 本章小结	第27-28页
第三章双级解耦微机械陀螺的结构设计	第28-45页
· 双级解耦结构的力学模型	第28-30页
· 双级解耦微机械陀螺结构的初步设计	第30-42页
· 驱动部分的结构设计	第32-35页
· 敏感部分的结构设计	第35-39页
· 检测部分的结构设计	第39-42页
· 微机械陀螺结构尺寸的设计思路	第42-44页
· 本章小结	第44-45页
第四章双级解耦微机械陀螺的静力学分析	第45-57页
· 微机械陀螺的模型前处理	第45-47页
· 建立模型及定义材料常数	第45-46页
· 有限元网格的划分	第46页
· 边界约束条件的定义	第46-47页
· 振子自由状态下的静力学分析	第47-49页
· 自由状态下静力学分析的意义	第47页
· 自由状态下载荷的施加	第47页
· 静力计算结果	第47-49页
· 振子在极限位移状态下的静力学分析	第49-52页
· 极限位移状态下静力学分析的意义	第49-50页
· 极限位移状态下载荷的施加	第50-51页
· 静力计算结果	第51-52页
· 微机械陀螺振子的疲劳分析	第52-56页
· 疲劳的概念	第52-53页
· 用ANSYS进行疲劳分析的方法	第53页
· 微机械陀螺振子的疲劳分析过程	第53-56页
· 本章小结	第56-57页
第五章双级解耦微机械陀螺的模态匹配	第57-65页
· 双级解耦微机械陀螺模态匹配的原理	第57页
· 微机械陀螺振子关键变量的定义	第57-58页
· 陀螺振子模态匹配的设计过程	第58-63页
· 检测弹性梁的参数设计	第59-60页
· 敏感-检测折叠梁的参数设计	第60-62页
· 驱动折叠梁的参数设计	第62-63页
· 陀螺振子模态匹配的评价	第63-64页
· 本章小结	第64-65页
第六章双级解耦微机械陀螺的瞬态动力学分析	第65-78页
· 陀螺瞬态动力学分析概述	第65-66页
· 陀螺瞬态动力学中的应力分析	第66-71页
· 陀螺振子的总体应力变化分析	第66-69页
· 振子结构的静力学校核	第69-70页
· 折叠梁应力变化分析	第70-71页
· 陀螺瞬态动力学中的谐波响应分析	第71-76页
· 谐波响应分析的意义	第71-72页
· 振子在正弦激励下的响应	第72-75页
· 振子响应的速度及加速度分析	第75-76页
· 本章小结	第76-78页
第七章总结与展望	第78-80页
· 本文的主要工作小结	第78页
· 进一步的研究工作展望	第78-80页
参考文献	第80-86页
硕士期间发表论文	第86页

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