铁电存储器关键工艺与器件建模研究



铁电存储器关键工艺与器件建模研究

分类：教育论文网→工业技术论文→自动化技术、计算机技术论文→计算技术、计算机技术论文→电子数字计算机（不连续作用电子计算机）论文→存贮器论文

铁电存储器关键工艺与器件建模研究

论文目录
摘要	第1-6页
Abstract	第6-10页
1 绪论	第10-36页
· 铁电材料基本特性	第11-20页
· 铁电存储技术概述	第20-30页
· 铁电存储器研究中的重要课题	第30-34页
· 本文主要研究内容	第34-36页
2 PZT与BPO薄膜低温制备工艺研究	第36-56页
· 高密度靶材的制备	第36-43页
· PZT薄膜溅射工艺优化	第43-47页
· BPO薄膜溅射工艺优化	第47-51页
· BPO和Pt电极效果比较	第51-56页
3 BPO电极对PZT薄膜微观结构及电学特性影响	第56-79页
· 微观结构、择优取向和表面形貌分析	第56-61页
· 残余应力分析	第61-67页
· 铁电和介电特性分析	第67-73页
· 结构精修分析	第73-79页
4 基于极化反转函数的铁电电容器件模型	第79-95页
· 铁电模型物理基础	第79-84页
· 铁电电容的极化反转函数	第84-88页
· 参数提取和模型验证	第88-91页
· 将模型嵌入EDA工具的方法	第91-95页
5 铁电电容模型应用实例	第95-113页
· 将模型用来解释疲劳相关的印记现象	第95-106页
· 将模型用于优化铁电存储器核心单元电路参数	第106-113页
6 铁电存储器氢隔离工艺研究	第113-125页
· 氢隔离层的刻蚀工艺	第114-117页
· Al_2O_3氢隔离层的效果	第117-120页
· 和氢隔离工艺有关的应力匹配问题	第120-125页
7 全文总结	第125-127页
致谢	第127-128页
参考文献	第128-143页
附录1 陶瓷靶材正交试验表	第143-145页
附录2 攻读博士学位期间发表和待发表的论文目录	第145-147页
附录3 已授权和申请中的专利	第147 页

本篇论文共147页，点击这进入下载页面。

更多论文
铁电存储器关键工艺与器件建模研究
基于FPGA的高速图像处理算法研究及
软件企业商业模式创新研究
波前编码技术理论研究及其在液体变
社会标签推荐技术与方法研究
基于皮肤镜图像的皮肤病变检测方法
基于直方图无关准则与基于混合控制
抗几何攻击的视频水印算法研究
绝热量子搜索算法研究
DNA序列二维可视化研究
基于飞行昆虫视觉机理的导航新方法
基于语义关联的重复数据清理技术研
面向计算机辅助诊断的胶囊内镜图像
图像的稀疏字典及其应用
基于图像分析的车辆识别与跟踪若干
基于几何特征的机械产品图像测度研
网状结构膜系统的计算能力研究
网络微内容推荐方法及支持系统研究
对等网络分布式缓存机制研究
深水机械手动力学特性及自主作业研
分离流动的电磁力主动控制
纳米金电化学生物传感技术研究
四足机器人脑机协作导航与规划
变时延环境下的任务级遥操作关键技
无线传感器网络拓扑建立方法与应用
无线传感器网络若干关键技术研究
MEMS微结构功能特征分析、评定关键
MOEMS声传感技术及低频声传播特性研
社会公正视角下的农民工报道研究--
现代新闻评论宽容意识研究
中国网络新闻可信度研究
从合作社性质的民营报纸到共产党的
互联网使用对个体健康行为的影响研
突发事件网络舆情演变研究
老年人长期照料模式与决策--以个人
公私定律：村庄视域中的国家政权建
人情的社会基础研究

铁电存储器论文磁控溅射论文 PZT薄膜论文准同形相界论文薄膜应力论文结构精修论文铁电电容模型论文氢隔离工艺论文
版权申明：目录由用户a39728882**提供，www.51papers.com仅收录目录，作者需要删除这篇论文目录请点击这里。
\| 设为首页\|\|加入收藏\|\|站内搜索引擎\|\|站点地图\|\|在线购卡\|
版权所有教育论文网 Copyright(C) All Rights Reserved