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紫外光固化金刚石线锯制造技术研究
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紫外光固化金刚石线锯制造技术研究
论文目录
 
摘要第1-6 页
ABSTRACT第6-11 页
第1章 绪论第11-31 页
　　前言第11 页
　　· 研究背景第11-12 页
　　· 半导体材料及其切割技术发展概况第12-16 页
　　　　· 半导体材料的现状与发展趋势第12-13 页
　　　　· 硅片的制备工艺流程简介第13-15 页
　　　　· 半导体材料切割加工技术概况第15-16 页
　　· 线锯技术的研究与发展现状第16-21 页
　　　　· 游离磨料线锯切割技术第16-17 页
　　　　· 游离磨料线锯与固结磨料线锯的比较第17-18 页
　　　　· 固结磨料线锯的制造技术及特点第18-21 页
　　· 紫外光固化技术应用与发展现状第21-26 页
　　　　· 紫外光固化技术概述第21-23 页
　　　　· 紫外光固化树脂的工业应用第23-24 页
　　　　· 紫外光固化技术的研究与发展第24-26 页
　　· 紫外光固化磨具的研究现状第26-29 页
　　　　· 国外研究现状第26-27 页
　　　　· 国内研究现状第27-29 页
　　· 本文的研究意义及内容第29-31 页
第2章 光固化树脂结合剂的机械物理性能研究第31-51 页
　　前言第31 页
　　· 紫外光固化材料的组成及性能第31-35 页
　　　　· 低聚物第31-32 页
　　　　· 活性稀释剂第32-33 页
　　　　· 光引发剂第33-34 页
　　　　· 助剂第34-35 页
　　· 光固化树脂结合剂的性能要求及选择原则第35-38 页
　　　　· 光固化线锯树脂结合剂的性能要求第35-36 页
　　　　· 光固化线锯结合剂性能的选择原则第36-38 页
　　· 紫外光固化树脂机械物理性能测试第38-50 页
　　　　· 实验材料及试件制备第38-40 页
　　　　· 柔韧性第40-42 页
　　　　· 耐冲击性第42-44 页
　　　　· 铅笔硬度第44-46 页
　　　　· 附着力第46-50 页
　　　　· 结合剂机械物理性能的实验结果评价第50 页
　　· 本章小结第50-51 页
第3章 芯线材料及其界面结合性能研究第51-71 页
　　前言第51 页
　　· 主要粘接理论第51-54 页
　　· 表面预处理常用方法第54-55 页
　　　　· 表面预处理的作用第54 页
　　　　· 表面预处理常用方法第54-55 页
　　· 光固化线锯芯线性能要求及材料选择第55-59 页
　　　　· 线锯工作受力分析第55-58 页
　　　　· 线锯芯线的材料第58-59 页
　　· 金属芯线的表面处理方法及评价第59-64 页
　　　　· 金属芯线材质的性能及特点第59-60 页
　　　　· 不同表面处理方法对附着力的影响与评价第60-63 页
　　　　· 钢丝表面清洗对附着力的影响第63-64 页
　　· 非金属芯线的表面处理方法及评价第64-70 页
　　　　· 聚乙烯芯线铬酸处理的基本原理第64-65 页
　　　　· 铬酸处理对聚乙烯芯线附着力的影响第65-66 页
　　　　· 铬酸处理的工艺控制第66-70 页
　　· 本章小结第70-71 页
第4章 金刚石包镶固位能力的研究第71-91 页
　　前言第71 页
　　· 结合剂固位机理研究概述第71-74 页
　　　　· 结合剂的固位机理分析第71-72 页
　　　　· 金刚石包镶能力的研究现状概述第72-74 页
　　· 机械包镶力的分析与计算第74-78 页
　　　　· 机械包镶力的力学模型分析第74-76 页
　　　　· 机械包镶力的计算第76-77 页
　　　　· 树脂磨料层结构单元的参数确定第77-78 页
　　· 结合剂对金刚石包镶能力的评价方法第78-80 页
　　　　· 金刚石界面结合特性的评价方法第78-79 页
　　　　· 拉伸法的实验评价模型第79-80 页
　　· 提高光固化线锯金刚石包镶能力的措施第80-90 页
　　　　· 光固化线锯磨料的选择第80-81 页
　　　　· 金刚石表面改性对包镶能力的影响第81-84 页
　　　　· 改性树脂对金刚石包镶能力的影响第84-88 页
　　　　· 金刚石表面处理对包镶能力的影响第88-90 页
　　· 本章小结第90-91 页
第5章 线锯涂覆与光固化控制技术研究第91-113 页
　　前言第91 页
　　· 紫外光固化原理与技术概述第91-94 页
　　　　· 紫外光固化原理第91-93 页
　　　　· 影响紫外光深层固化的因素第93-94 页
　　· 紫外光固化树脂磨具的固化特性第94-96 页
　　· 光固化线锯的制造工艺第96-98 页
　　　　· 光固化线锯制造工艺流程第96-97 页
　　　　· 光固化线锯制造工艺步骤第97-98 页
　　· 线锯涂覆固化机的研制第98-103 页
　　　　· 线锯涂覆固化机性能指标第98-99 页
　　　　· 涂覆模具的设计第99-100 页
　　　　· UV灯的工艺设计第100-101 页
　　　　· 传动机构及电器控制系统设计第101-103 页
　　· 光固化线锯涂覆工艺第103-106 页
　　　　· 线锯磨料层工艺结构设计第103 页
　　　　· 金刚石浓度与粒度的选择第103-104 页
　　　　· 线锯涂覆直径和涂覆模具结构之间的关系第104-106 页
　　· 光固化线锯固化工艺第106-111 页
　　　　· 线锯涂层固化度的测试评价方法第106-107 页
　　　　· 走线速度和固化性能的关系第107-109 页
　　　　· 氧气阻聚问题的解决措施第109-110 页
　　　　· 固化炉内温度的控制第110-111 页
　　· 本章小结第111-113 页
第6章 光固化线锯磨损失效机理及加工性能研究第113-135 页
　　前言第113 页
　　· 金刚石工具加工硬脆材料磨削机理概述第113-114 页
　　· 光固化线锯磨损与失效机理的研究第114-121 页
　　　　· 光固化线锯的磨损失效形式第114-115 页
　　　　· 树脂磨料层剥落失效第115-116 页
　　　　· 树脂磨料层磨损失效第116-119 页
　　　　· 金刚石磨粒的磨损失效形式第119-121 页
　　· 光固化线锯加工性能的研究第121-133 页
　　　　· 光固化线锯加工性能的评价第121-123 页
　　　　· 金刚石出刃高度对线锯锯切性能的影响第123-124 页
　　　　· 光固化树脂单体改性对线锯加工性能的提高第124-127 页
　　　　· 非金属芯线预张拉处理对线锯加工性能的提高第127-129 页
　　　　· 光固化线锯与商品线锯锯切性能的比较第129-133 页
　　· 本章小结第133-135 页
第7章 结论与展望第135-137 页
　　· 结论第135-136 页
　　· 展望第136-137 页
参考文献第137-143 页
致谢第143-144 页
攻读学位期间参加的科研项目和成果第144 页

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