论文目录 | |
| 摘要 | 第1-8页 |
| ABSTRACT | 第8-10页 |
| 第1章 绪论 | 第14-40页 |
| 1.1 表面微纳结构研究意义 | 第14-16页 |
| 1.2 表面微纳结构加工技术概况 | 第16-20页 |
| 1.2.1 “自上而下”(Top-Down)法 | 第16-20页 |
| 1.2.2 “自下而上”(Bottom-Up)法 | 第20页 |
| 1.3 飞秒激光微纳加工技术 | 第20-26页 |
| 1.3.1 飞秒激光加工原理 | 第21-25页 |
| 1.3.2 飞秒激光加工优势 | 第25-26页 |
| 1.4 飞秒激光诱导表面微纳结构研究现状 | 第26-35页 |
| 1.4.1 主要应用 | 第26-32页 |
| 1.4.2 研究进展 | 第32-35页 |
| 1.5 本论文研究思路 | 第35-40页 |
| 1.5.1 现有问题 | 第35-36页 |
| 1.5.2 研究内容安排 | 第36-40页 |
| 第2章 飞秒激光脉冲序列诱导晶硅表面周期结构形态调控 | 第40-76页 |
| 2.1 飞秒激光诱导晶硅表面周期结构基本实验探索 | 第40-50页 |
| 2.1.1 低能量下晶硅表面微纳结构随入射脉冲个数演化过程 | 第41-47页 |
| 2.1.2 高能量下晶硅表面微纳结构随入射脉冲个数演化过程 | 第47-50页 |
| 2.2 光栅辅助SPP定向散射波纹结构偏振依赖性研究 | 第50-62页 |
| 2.2.1 光栅辅助SPP定向散射原理 | 第50-51页 |
| 2.2.2 静态:波纹结构各向异性几何形态调控 | 第51-56页 |
| 2.2.3 动态:扫描直写波纹线各向异性调控 | 第56-62页 |
| 2.3 双脉冲飞秒激光调控波纹结构偏振依赖性 | 第62-72页 |
| 2.3.1 方法的提出 | 第62-66页 |
| 2.3.2 静态:双脉冲间隔调控晶硅表面波纹结构形态 | 第66-70页 |
| 2.3.3 动态:双脉冲间隔调控不同扫描方向线宽各向异性 | 第70-72页 |
| 2.4 各向异性功能性表面微透镜制备 | 第72-74页 |
| 2.5 本章小结 | 第74-76页 |
| 第3章 辅助微结构空间整形飞秒激光诱导表面微纳结构形态及排列调控 | 第76-98页 |
| 3.1 辅助微结构调控飞秒激光诱导表面微纳结构 | 第76-83页 |
| 3.1.1 实验设计 | 第77-79页 |
| 3.1.2 方孔大小对飞秒激光诱导表面微纳结构的调控 | 第79-82页 |
| 3.1.3 扫描速度对飞秒激光诱导表面微纳结构的调控 | 第82-83页 |
| 3.2 辅助微结构飞秒激光诱导表面微纳结构烧蚀特性研究 | 第83-89页 |
| 3.2.1 烧蚀增强效应 | 第83-84页 |
| 3.2.2 烧蚀偏振依赖性效应 | 第84-87页 |
| 3.2.3 激光偏振方向对波纹线结构方向选择的影响 | 第87-89页 |
| 3.3 微结构对表面微纳结构周期性排列调控的机理分析 | 第89-96页 |
| 3.3.1 方孔微结构的菲涅尔衍射效应 | 第90-93页 |
| 3.3.2 初始形成微结构对后续加工影响实验验证 | 第93-94页 |
| 3.3.3 动态飞秒激光直写过程中的一些反常现象讨论 | 第94-96页 |
| 3.4 本章小结 | 第96-98页 |
| 第4章 双波长空间整形飞秒激光脉冲加工表面等离子体纳米结构 | 第98-134页 |
| 4.1 双波长飞秒激光光场分布机理及实验研究 | 第98-104页 |
| 4.1.1 实验系统设计 | 第98-99页 |
| 4.1.2 能量重整机理探索 | 第99-102页 |
| 4.1.3 环形微结构加工 | 第102-104页 |
| 4.2 类等离子透镜效应研究 | 第104-111页 |
| 4.2.1 SPP聚焦实验研究 | 第105-107页 |
| 4.2.2 SPP传播实验研究 | 第107-111页 |
| 4.3 应用:硅纳米柱的加工 | 第111-118页 |
| 4.3.1 硅纳米柱的加工 | 第111-116页 |
| 4.3.2 形成机理分析 | 第116-118页 |
| 4.4 应用:金表面等离子体纳米结构结构调控 | 第118-132页 |
| 4.4.1 金纳米结构形态的调控 | 第121-122页 |
| 4.4.2 表面等离子体纳米结构大小的调控 | 第122-126页 |
| 4.4.3 金纳米等离子光学性质研究 | 第126-128页 |
| 4.4.4 加工方法的灵活性 | 第128-132页 |
| 4.5 本章小结 | 第132-134页 |
| 第5章 材料晶向对飞秒激光诱导表面微纳结构烧蚀特性的调控 | 第134-155页 |
| 5.1 光电离晶向依赖性机理提出 | 第134-140页 |
| 5.1.1 非金属材料的光吸收过程 | 第135-138页 |
| 5.1.2 光电离晶向依赖性机理 | 第138-140页 |
| 5.2 静态:烧蚀特性偏振依赖性研究 | 第140-152页 |
| 5.2.1 实验方案 | 第140-142页 |
| 5.2.2 能量密度影响 | 第142-152页 |
| 5.3 动态:扫描直写表面波纹线产生及连续性调控 | 第152-154页 |
| 5.4 本章小结 | 第154-155页 |
| 第6章 结论与展望 | 第155-158页 |
| 参考文献 | 第158-171页 |
| 攻读学位期间发表论文与研究成果清单 | 第171-174页 |
| 致谢 | 第174页 |
