Zn、Cu掺杂AlN纳米结构的制备及发光性能的研究



Zn、Cu掺杂AlN纳米结构的制备及发光性能的研究

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Zn、Cu掺杂AlN纳米结构的制备及发光性能的研究

论文目录
中文摘要	第1-4页
Abstract	第4-9页
第一章绪论	第9-24页
· 引言	第9-10页
· AlN的基本性质和应用	第10-11页
· 纳米结构的制备方法	第11-12页
· 半导体光致发光性能	第12-14页
· 半导体光致发光的作用机理	第12-13页
· 半导体掺杂的基本理论	第13-14页
· 掺杂AlN发光性能的研究现状	第14-18页
· 本论文的选题依据及主要内容	第18-20页
参考文献	第20-24页
第二章无水氯化锌为掺杂源制备Zn掺杂氮化铝纳米结构	第24-37页
· 引言	第24页
· 纯AlN和Zn掺杂AlN纳米结构的制备及性能表征	第24-29页
· 样品的制备	第24-25页
· 结果和讨论	第25-29页
· NH_3流量对Zn掺杂样品的影响	第29-31页
· 样品的制备	第29页
· 结果和讨论	第29-31页
· Zn掺杂量的影响	第31-34页
· 样品的制备	第31-32页
· 结果和讨论	第32-34页
· 本章小结	第34-35页
参考文献	第35-37页
第三章纳米锌粉为掺杂源制备Zn掺杂氮化铝纳米结构	第37-50页
· 引言	第37页
· 硅片的放置角度对Zn掺杂AlN纳米结构的影响	第37-40页
· 样品的制备	第37-38页
· 结果和讨论	第38-40页
· 生长温度的影响	第40-44页
· 样品的制备	第40-41页
· 结果和讨论	第41-44页
· Zn掺杂量的影响	第44-47页
· 样品的制备	第44页
· 结果与讨论	第44-47页
· 本章小结	第47-48页
参考文献	第48-50页
第四章 Cu掺杂氮化铝纳米结构的制备及发光性能的研究	第50-64页
· 引言	第50页
· Cu掺杂量的影响	第50-55页
· 样品的制备	第52页
· 结果和讨论	第52-55页
· 生长温度的影响	第55-58页
· 样品的制备	第55页
· 结果和讨论	第55-58页
· NH_3/Ar流量比的影响	第58-61页
· 样品的制备	第58页
· 结果和讨论	第58-61页
· 本章小结	第61-62页
参考文献	第62-64页
第五章结论与展望	第64-66页
· 结论	第64-65页
· 展望	第65-66页
硕士期间的研究成果	第66-67页
致谢	第67页

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