无味卡尔曼滤波在直拉法单晶硅直径控制中的应用研究
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无味卡尔曼滤波在直拉法单晶硅直径控制中的应用研究
论文目录
中文摘要
第1-4页
Abstract
第4-7页
第一章 绪论
第7-9页
· 研究背景及意义
第7-8页
· 国内外研究现状
第8页
· 论文结构安排
第8-9页
第二章 主要研究内容介绍
第9-25页
· 直拉法单晶硅生产工艺介绍
第10-14页
· 单晶炉控制系统介绍
第14-18页
· 主控制器部分
第15-17页
· 辅助控制器部分
第17-18页
· 晶体生长模型分析
第18-25页
· 热场模型分析
第19-21页
· 影响晶棒直径的因素分析
第21-25页
第三章 无味卡尔曼滤波算法原理
第25-34页
· 无味变换(Unscented Transformation,UT)
第25-30页
· 基于对称型σ点集选取方法的无味变换
第27-28页
· 基于单边型σ点集选取方法的无味变换
第28-29页
· 基于变尺度σ点集选取方法的无味变换
第29-30页
· 无味卡尔曼滤波器(Unscented Kalman Filter)的设计
第30-34页
第四章 实验结果
第34-44页
· EKF和UKF的一般比较
第34-37页
· 初始分布情况对EKF和UKF效果的影响
第34-36页
· 系统非线性程度对EKF和UKF效果的影响
第36-37页
· EKF和不同σ点集选取规则下的UKF的状态估计效果比较
第37-42页
· EKF和UKF估计效果的比较
第37-39页
· 不同σ点集对UKF估计效果的影响
第39-42页
· 实验结论与展望
第42-44页
参考文献
第44-47页
在学期间的研究成果
第47-48页
致谢
第48页
本篇论文共
48
页,
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。
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