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PZT薄膜材料的生长与应用
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PZT薄膜材料的生长与应用
论文目录
 
摘要第1-6 页
ABSTRACT第6-13 页
第一章 绪论第13-29 页
　　· 压电/铁电材料第13-20 页
　　　　· 压电的基本理论第13-15 页
　　　　· 压电材料的主要性能和参数第15-17 页
　　　　· 铁电特性第17-20 页
　　· 压电/铁电材料的发展与用途第20-23 页
　　　　· 表面声波器件第21 页
　　　　· 铁电随机存储器第21-22 页
　　　　· 薄膜化的压电变压器第22-23 页
　　　　· 光学器件第23 页
　　　　· 微电子机械系统第23 页
　　· 本文研究目的第23-25 页
　　参考文献第25-29 页
第二章 溶胶-凝胶法制备PZT薄膜第29-55 页
　　· PZT薄膜的制备方法第29-32 页
　　　　· 烧结法第30 页
　　　　· 溅射法第30 页
　　　　· 脉冲激光沉积法第30-31 页
　　　　· 化学气相沉积法第31 页
　　　　· 分子束外延法第31-32 页
　　　　· 溶胶-凝胶法第32 页
　　· PZT薄膜的制备第32-35 页
　　　　· 实验试剂第33 页
　　　　· 实验过程第33-35 页
　　　　· PZT薄膜的性能表征第35 页
　　· PZT薄膜的结构分析第35-50 页
　　　　· PZT薄膜的结晶性能分析第35-45 页
　　　　· PZT薄膜的SEM分析第45-48 页
　　　　· PZT薄膜的AFM分析第48-50 页
　　· 小结第50-51 页
　　参考文献第51-55 页
第三章 PZT薄膜的铁电特性第55-65 页
　　· 铁电测试原理与电路第55-56 页
　　· PZT铁电样品的工艺流程第56-59 页
　　· 铁电测量第59-63 页
　　· 小结第63-64 页
　　参考文献第64-65 页
第四章 薄膜体声波谐振器的建模与结构参数研究第65-75 页
　　· FBAR的结构第65-67 页
　　　　· 空气-金属交界面来限制声波第65-66 页
　　　　· 金属-布拉格反射层来限制声波第66-67 页
　　· 结构参数研究第67-73 页
　　　　· 薄膜体声波谐振器的等效电路模型第67-69 页
　　　　· 体声波谐振器等效电路的分析第69-70 页
　　　　· 谐振器结构参数对基频谐振频率的影响第70-73 页
　　· 小结第73-74 页
　　参考文献第74-75 页
第五章 工作总结与展望第75-77 页
　　· 工作总结第75-76 页
　　· 展望第76-77 页
攻读硕士期间发表的论文第77-78 页
致谢第78页

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