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柔性衬底上掺杂氧化锌薄膜的制备及性能研究
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柔性衬底上掺杂氧化锌薄膜的制备及性能研究
论文目录
 
论文摘要第1-7 页
ABSTRACT第7-10 页
第一章 绪论第10-23 页
　　第一节 ZnO的结构和性质第10-13 页
　　第二节 ZnO薄膜的应用第13-15 页
　　第三节 掺杂ZnO薄膜的特性和研究现状第15-17 页
　　第四节 柔性衬底上透明导电膜的研究进展第17-21 页
　　第五节 本论文的主要研究内容第21-23 页
第二章 薄膜制备和性能表征技术第23-33 页
　　第一节 脉冲激光沉积(PLD)技术第23-26 页
　　第二节 薄膜性能表征技术第26-33 页
第三章 Al掺杂ZnO薄膜的制备与性能第33-46 页
　　第一节 实验方法第33-34 页
　　第二节 AZO薄膜的形貌和微结构第34-37 页
　　第三节 AZO薄膜的光学性能第37-40 页
　　第四节 AZO薄膜的电学性能第40-41 页
　　第五节 不同制备参数对AZO薄膜性能的影响第41-45 页
　　第六节 本章小结第45-46 页
第四章 Hf掺杂ZnO薄膜的制备与性能第46-54 页
　　第一节 实验方法第46-47 页
　　第二节 Hf_xZn_(1-x)O薄膜的结构和形貌第47-49 页
　　第三节 Hf_xZn_(1-x)O薄膜的光学性能第49-52 页
　　第四节 Hf_xZn_(1-x)O薄膜的导电性能第52-53 页
　　第五节 本章小结第53-54 页
第五章 结论第54-55 页
攻读硕士学位期间发表的论文第55-56 页
参考文献第56-59 页
致谢第59 页

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