半导体纳米点镶嵌在高K介电材料中的制备及其发光特性的研究



半导体纳米点镶嵌在高K介电材料中的制备及其发光特性的研究

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半导体纳米点镶嵌在高K介电材料中的制备及其发光特性的研究

论文目录
摘要	第1-4 页
Abstract	第4-8 页
第一章绪论	第8-27 页
· 引言	第8-10 页
· 纳米薄膜材料的光学性质	第10-11 页
· Ge 纳米晶复合薄膜的研究现状	第11-16 页
· 镶嵌有Ge 纳米晶复合薄膜的制备方法	第16-21 页
· 溅射法(Sputtering)	第16-17 页
· 分子束外延(MBE)	第17-18 页
· 离子注入（Ion implantation）	第18-19 页
· 化学气相沉积法(CVD)	第19-20 页
· 溶胶-凝胶法(Sol-Gel)	第20-21 页
· 半导体纳米材料几种经典的发光模型	第21-23 页
· 量子限域效应—发光中心模型	第21-22 页
· 与氧缺陷有关的发光模型	第22 页
· 界面层中的激子效应发光模型	第22-23 页
· 直接跃迁发光模型	第23 页
· 本文章的研究思路和主要内容	第23-25 页
参考文献	第25-27 页
第二章Ge 纳米晶复合薄膜制备与表征	第27-37 页
· 脉冲激光沉积法(PLD)	第27-29 页
· 脉冲激光沉积法的原理	第27-28 页
· 脉冲激光沉积法的特点	第28-29 页
· Ge 纳米晶复合薄膜的制备	第29-32 页
· 脉冲激光沉积系统的结构	第29-31 页
· 衬底	第31 页
· 靶材	第31-32 页
· 样品的处理	第32 页
· Ge 纳米晶复合薄膜的表征	第32-36 页
· X 射线衍射（XRD）	第32-33 页
· 透射电子显微镜（TEM）	第33-34 页
· 光致荧光谱(PL)	第34-36 页
参考文献	第36-37 页
第三章 Ge 纳米晶的结构和表征	第37-45 页
· Rietveld 方法原理的介绍	第37-39 页
· Rieveld 结构精修的基本条件	第39 页
· 薄膜XRD 谱线分析与讨论	第39-44 页
参考文献	第44-45 页
第四章 Ge 纳米晶复合薄膜的光致发光特性	第45-50 页
· Ge/Lu_2O_3复合薄膜光致发光谱	第45-47 页
· Ge/Lu_2O_3、Ge/ SiO_2光致发光谱比较	第47-49 页
参考文献	第49-50 页
第五章结论	第50-51 页
在硕士期间公开发表论文及著作情况	第51-52 页
致谢	第52 页

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