基于Petri网的单臂组合装置晶圆重入加工过程的调度分析与仿真



基于Petri网的单臂组合装置晶圆重入加工过程的调度分析与仿真

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基于Petri网的单臂组合装置晶圆重入加工过程的调度分析与仿真

论文目录
摘要	第1-5页
Abstract	第5-7页
目录	第7-10页
Contents	第10-13页
第一章绪论	第13-19页
· 课题研究背景	第13-15页
· 半导体制造概述	第13-14页
· 晶圆制造工艺	第14-15页
· 国内外研究现状	第15-18页
· 章节安排	第18-19页
第二章 ALD重入加工过程的Petri网建模	第19-29页
· 系统与模型的概念	第19-20页
· 系统	第19页
· 模型	第19-20页
· Petri网的基本理论	第20-22页
· 有限能力Petri网	第20-21页
· Petri网的特性	第21-22页
· 重入加工系统的Petri网模型	第22-27页
· ALD重入加工流程模式	第22-23页
· 机械手操作的Petri网模型	第23-24页
· ALD流程的Petri网模型	第24-26页
· 操作时间模型	第26-27页
· 死锁避免策略	第27-28页
· 本章小结	第28-29页
第三章 ALD重入加工过程的调度分析	第29-41页
· 引言	第29-30页
· ALD重入加工过程(1,2)~k调度分析	第30-40页
· 重入次数k=2	第30-31页
· 重入次数k=3	第31-34页
· 重入次数k=4	第34-36页
· 重入次数k=5	第36-40页
· 实例	第40页
· 本章小结	第40-41页
第四章 ALD重入加工过程的eM-Plant仿真建模	第41-57页
· 计算机仿真	第41-42页
· 系统仿真软件eM-Plant	第42-43页
· 加工流程分析	第43-44页
· 仿真模型框架	第44-45页
· 机械手控制原理	第45-54页
· 机械手控制策略	第45-47页
· 系统时间的模拟	第47-48页
· 机械手操作触发过程	第48-49页
· 晶圆进入PM控制程序	第49页
· 晶圆离开PM控制程序	第49-54页
· 实例	第54-56页
· 本章小结	第56-57页
第五章 ALD重入加工生产管理系统开发	第57-67页
· 概述	第57页
· 系统设计	第57-60页
· 设计目标	第57-58页
· 系统业务流程分析	第58页
· 开发及运行环境	第58-59页
· 数据库设计	第59-60页
· 功能模块设计	第60-64页
· 登录模块设计	第60-62页
· 输入窗体设计	第62-63页
· 输出窗体设计	第63-64页
· 实例演示	第64-66页
· 本章小结	第66-67页
总结与展望	第67-68页
参考文献	第68-71页
攻读硕士期间发表的论文	第71-73页
致谢	第73-74页
附录	第74-80页

本篇论文共80页，点击这进入下载页面。

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