聚合物波导光栅耦合器设计研究



聚合物波导光栅耦合器设计研究

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聚合物波导光栅耦合器设计研究

论文目录
摘要	第1-5页
Abstract	第5-9页
1 绪论	第9-18页
· 光栅耦合器国内外研究现状	第9-10页
· 波导光栅耦合器与其他耦合方式比较	第10页
· 有机聚合物材料的优点	第10-11页
· 不同材料制备波导光栅耦合器	第11-16页
· SOI硅绝缘体波导光栅耦合器	第11-13页
· 磷化铟薄膜波导光栅耦合器	第13-15页
· 聚合物基波导光栅耦合器	第15-16页
· 波导光栅耦合器在微环传感器中的应用	第16-18页
2 波导光栅耦合器的基本理论	第18-28页
· 波导光栅耦合器的基本理论	第18-21页
· 波导光栅耦合器的基本结构	第18-20页
· 具有高折射率上包层的波导光栅耦合器	第20-21页
· 波导光栅耦合器的基本特性参数	第21-25页
· 布拉格光栅	第22-23页
· 波导光栅耦合器耦合效率	第23-25页
· 波导光栅耦合器的主要结构参数	第25-28页
3 波导光栅耦合器的数值模拟及设计	第28-57页
· 本征模扩展法(camfr)	第28-29页
· 有限时域差分法(FDTD)	第29页
· 红外光1550nm波导光栅耦合器结构参数设计	第29-52页
· 波导芯层刻蚀光栅参数设计	第30-35页
· 增加高折射率上包层的波导芯层光栅	第35-40页
· 增加高折射率聚合物上包层的波导芯层光栅	第40-46页
· 增加SiN高折射率上包层的波导下包层光栅	第46-51页
· 不同结构的波导光栅耦合器比较	第51-52页
· 近红外光850nm波导光栅耦合器结构参数设计	第52-57页
· 波导光栅耦合器制备工艺研究	第57-66页
· 压印模板制备工艺	第57-59页
· 扫描电子束刻蚀法	第57-58页
· 紫外光刻蚀法	第58-59页
· 微纳器件制备	第59-62页
· 微纳压印	第59-61页
· 聚合物波导光栅耦合器的其他制备方法	第61-62页
· 高折射率包层沉积工艺	第62-66页
· 传统的高折射率包层沉积工艺	第63-64页
· 带有SiN包层的波导光栅耦合器制备	第64-66页
· 实验室测试波导光栅耦合器的耦合效率	第66-71页
· 实验室测试平台搭建	第66-68页
· 实验室测试耦合效率结果	第68-71页
结论	第71-72页
参考文献	第72-75页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况	第75-76页
致谢	第76-77页

本篇论文共77页，点击这进入下载页面。

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