ZnCdO薄膜的制备及性能研究
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ZnCdO薄膜的制备及性能研究
论文目录
摘要
第1-5页
Abstract
第5-9页
引言
第9-10页
1 ZnO材料综述
第10-16页
· ZnO的基本性质
第10-15页
· ZnO的结构性质
第10-11页
· ZnO的电学性质
第11-12页
· ZnO的光学性质
第12-13页
· ZnO的带隙调制
第13-15页
· ZnO的应用
第15-16页
2 薄膜制备技术
第16-21页
· ZnO薄膜的制备技术
第16-21页
· 脉冲激光沉积技术
第16-17页
· 反应磁控溅射技术
第17-18页
· 分子束外延技术
第18-19页
· 有机金属化学气相沉积(MOCVD)
第19-20页
· 其他生长方法
第20-21页
3 薄膜样品的制备与分析
第21-29页
· 制备仪器介绍
第21-23页
· 脉冲激光沉积(PLD)设备介绍
第21-22页
· 射频磁控溅射设备介绍
第22-23页
· 薄膜分析技术
第23-29页
· X射线衍射(x ray diffraction,XRD)
第23-25页
· 扫描电子显微镜(scanning electron microscope SEM)
第25-26页
· 电子探针显微分析
第26-27页
· 导电原子力显微分析(C-AFM)
第27-28页
· 光致荧光(PL)光谱分析
第28-29页
4 基片温度对ZnCdO薄膜性能的影响
第29-36页
· ZnCdO薄膜的制备
第29页
· 结果与分析
第29-35页
· ZnCdO薄膜的结构分析
第29-31页
· ZnCdO薄膜的光学性质
第31-35页
· 本章小结
第35-36页
5 氧气压对ZnCdO薄膜结构和光学性能的影响
第36-44页
· ZnCdO薄膜的制备与表征
第36-37页
· 结果与分析
第37-43页
· ZnCdO薄膜的结构性质
第37-40页
· ZnCdO薄膜的光学性质
第40-43页
· 本章小结
第43-44页
6 Pt层对ZnCdO薄膜性能的影响
第44-50页
· 样品制备与表征
第44页
· 结果分析与讨论
第44-49页
· Pt层厚度对薄膜结构及形貌的影响
第44-47页
· Pt/ZnCdO微观电学性质
第47-49页
· 本章小结
第49-50页
7 氧气压对ZnO薄膜结构和光学性能的影响
第50-56页
· 样品制备与表征
第50页
· 结果分析与讨论
第50-55页
· 薄膜样品结构性质
第50-52页
· 薄膜样品光学性质
第52-55页
· 本章小结
第55-56页
结论
第56-57页
参考文献
第57-60页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况
第60-61页
致谢
第61-62页
本篇论文共
62
页,
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