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ZnCdO薄膜的制备及性能研究

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ZnCdO薄膜的制备及性能研究
论文目录
 
摘要第1-5页
Abstract第5-9页
引言第9-10页
1 ZnO材料综述第10-16页
  · ZnO的基本性质第10-15页
    · ZnO的结构性质第10-11页
    · ZnO的电学性质第11-12页
    · ZnO的光学性质第12-13页
    · ZnO的带隙调制第13-15页
  · ZnO的应用第15-16页
2 薄膜制备技术第16-21页
  · ZnO薄膜的制备技术第16-21页
    · 脉冲激光沉积技术第16-17页
    · 反应磁控溅射技术第17-18页
    · 分子束外延技术第18-19页
    · 有机金属化学气相沉积(MOCVD)第19-20页
    · 其他生长方法第20-21页
3 薄膜样品的制备与分析第21-29页
  · 制备仪器介绍第21-23页
    · 脉冲激光沉积(PLD)设备介绍第21-22页
    · 射频磁控溅射设备介绍第22-23页
  · 薄膜分析技术第23-29页
    · X射线衍射(x ray diffraction,XRD)第23-25页
    · 扫描电子显微镜(scanning electron microscope SEM)第25-26页
    · 电子探针显微分析第26-27页
    · 导电原子力显微分析(C-AFM)第27-28页
    · 光致荧光(PL)光谱分析第28-29页
4 基片温度对ZnCdO薄膜性能的影响第29-36页
  · ZnCdO薄膜的制备第29页
  · 结果与分析第29-35页
    · ZnCdO薄膜的结构分析第29-31页
    · ZnCdO薄膜的光学性质第31-35页
  · 本章小结第35-36页
5 氧气压对ZnCdO薄膜结构和光学性能的影响第36-44页
  · ZnCdO薄膜的制备与表征第36-37页
  · 结果与分析第37-43页
    · ZnCdO薄膜的结构性质第37-40页
    · ZnCdO薄膜的光学性质第40-43页
  · 本章小结第43-44页
6 Pt层对ZnCdO薄膜性能的影响第44-50页
  · 样品制备与表征第44页
  · 结果分析与讨论第44-49页
    · Pt层厚度对薄膜结构及形貌的影响第44-47页
    · Pt/ZnCdO微观电学性质第47-49页
  · 本章小结第49-50页
7 氧气压对ZnO薄膜结构和光学性能的影响第50-56页
  · 样品制备与表征第50页
  · 结果分析与讨论第50-55页
    · 薄膜样品结构性质第50-52页
    · 薄膜样品光学性质第52-55页
  · 本章小结第55-56页
结论第56-57页
参考文献第57-60页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况第60-61页
致谢第61-62页

本篇论文共62页,点击这进入下载页面
 
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