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三框架硅微机械陀螺的结构设计及加工工艺研究
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三框架硅微机械陀螺的结构设计及加工工艺研究
论文目录
 
摘要第1-5 页
Abstract第5-9 页
第一章 绪论第9-23 页
　　· 陀螺简介第9-11 页
　　　　· 机械转子陀螺和光学陀螺第9-10 页
　　　　· 微机械陀螺仪第10-11 页
　　· 硅微机械陀螺的发展现状及趋势第11-20 页
　　　　· 国内微机械陀螺仪发展第11-15 页
　　　　· 国外微机械陀螺仪发展第15-19 页
　　　　· 微机械陀螺发展趋势第19-20 页
　　· 论文研究的意义第20-21 页
　　· 论文工作内容第21-23 页
第二章 硅微机械陀螺结构设计第23-36 页
　　· 微机械陀螺仪设计原理第23-26 页
　　　　· 哥氏效应第23-25 页
　　　　· 微机械陀螺工作原理第25-26 页
　　· 陀螺结构设计基础第26-34 页
　　　　· 双框架微机械陀螺缺点第26-28 页
　　　　· 陀螺阻尼分析第28-29 页
　　　　· 陀螺驱动和检测方式第29-33 页
　　　　· 陀螺支撑梁第33-34 页
　　· 三质量块陀螺解耦仿真分析第34-35 页
　　· 本章小结第35-36 页
第三章 三框架陀螺结构设计、分析及仿真第36-53 页
　　· 三框架陀螺结构及工作原理第36-39 页
　　　　· 三框架陀螺结构第37-38 页
　　　　· 三框架陀螺工作原理第38-39 页
　　· 三框架陀螺动力学分析第39-43 页
　　· 三框架陀螺有限元仿真第43-48 页
　　　　· 静态分析第44 页
　　　　· 模态分析第44-46 页
　　　　· 谐响应分析第46-48 页
　　· 三框架陀螺参数第48-52 页
　　　　· 陀螺结构参数第48-50 页
　　　　· 陀螺性能参数第50-52 页
　　· 本章小结第52-53 页
第四章 硅微机械陀螺工艺及版图设计第53-65 页
　　· 微机械加工工艺第53-56 页
　　　　· 体硅加工工艺第53-54 页
　　　　· 三框架陀螺工艺设计第54-56 页
　　· 硅微机械陀螺版图设计第56-63 页
　　　　· 版图设计规则第56-59 页
　　　　· 版图设计中的注意事项第59 页
　　　　· 三框架陀螺版图设计第59-62 页
　　　　· 版图设计中关键点及存在的问题第62-63 页
　　· 三框架陀螺加工结果第63-64 页
　　· 微机械陀螺封装第64 页
　　· 本章小结第64-65 页
第五章 硅微机械陀螺接口电路第65-78 页
　　· 微机械陀螺接口电路原理第65-66 页
　　· 微机械陀螺驱动电路第66-72 页
　　　　· 开环驱动电路第66-67 页
　　　　· 无自动增益控制闭环驱动电路第67-69 页
　　　　· 自动增益控制闭环驱动电路第69-71 页
　　　　· 两种驱动方式的比较第71-72 页
　　· 微机械陀螺检测电路第72-77 页
　　　　· 差分检测电路第72-74 页
　　　　· 检测模态的测量第74 页
　　　　· 信号解调电路第74-77 页
　　· 本章小结第77-78 页
第六章 硅微机械陀螺电路测试第78-83 页
　　· 开环驱动测试第78-80 页
　　　　· 驱动信号第78-79 页
　　　　· 驱动模态固有频率第79-80 页
　　· 检测模态固有频率测试第80 页
　　· 闭环驱动测试第80-82 页
　　　　· 驱动信号第80-81 页
　　　　· 自动增益控制信号第81-82 页
　　· 转台测试第82-83 页
第七章 结论与展望第83-85 页
　　· 论文的主要研究内容及结论第83 页
　　· 论文的创新及特色第83-84 页
　　· 论文工作展望第84-85 页
附录第85-87 页
参考文献第87-91 页
攻读硕士学位期间发表的学术论文及所取得的研究成果第91-92 页
致谢第92 页

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