纳米晶硅薄膜研究—硕士毕业论文下载

纳米晶硅薄膜研究

论文目录
摘要	第1-4 页
Abstract	第4-7 页
第1章绪论	第7-30 页
· 硅基发光器件的研究背景	第7-13 页
· 硅纳米结构	第13-27 页
· 本文研究的主要内容	第27-28 页
· 实验和分析方法简介	第28-30 页
第2章 SRSO 薄膜微观结构和发光性能的研究	第30-48 页
· 引言	第30-31 页
· 制备工艺和退火温度SRSO 薄膜结构和发光性能的影响	第31-42 页
· 氧气后退火对SRSO 薄膜结构和发光性能的影响	第42-48 页
第3章富纳米晶硅 AL203(SRAO)薄膜结构和发光性能研究	第48-60 页
· 引言	第48-49 页
· 样品制备	第49-50 页
· 实验结果	第50-54 页
· 分析与讨论	第54-59 页
· 小结	第59-60 页
第4章 NI 诱导 SIOX薄膜分相和纳米晶硅生长的研究	第60-77 页
· 引言	第60-61 页
· 样品制备	第61 页
· 实验结果	第61-69 页
· 分析与讨论	第69-76 页
· 小结	第76-77 页
第5章结论	第77-79 页
参考文献	第79-87 页
致谢	第87-88 页
个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果	第88页

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