低压键合技术及其机理研究—硕士毕业论文下载



低压键合技术及其机理研究

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低压键合技术及其机理研究

论文目录
摘要	第1-6页
ABSTRACT	第6-7页
致谢	第7-10页
插图清单	第10-12页
表格清单	第12-13页
第一章绪论	第13-21页
· 引言	第13页
· 发展简史	第13-14页
· 流体在微纳流控系统中的基本特征	第14-15页
· 传统微流体芯片制作技术	第15-18页
· 自下向上方法-牺牲层技术	第15-17页
· 自上向下方法-镀膜沉积法	第17-18页
· 传统加工方法的一些缺点	第18-19页
· 课题研究内容	第19-21页
第二章低压键合技术	第21-39页
· 键合技术分类及基本原理	第21-23页
· 键合技术分类	第21-22页
· 聚合物键合机理	第22-23页
· 键合一般步骤条件	第23页
· 低压键合技术	第23-24页
· 实验方案及实验步骤	第24-32页
· 主要材料和设备介绍	第25-26页
2.3.2 PDMS 印章制作步骤	第26-28页
· 实际软压印过程	第28-30页
· 低压键合过程	第30-32页
· 实验关键步骤分析	第32-34页
2.4.1 PDMS 印章及压印过程关键步骤	第32页
2.4.2 制作 PET 双层胶结构过程关键步骤	第32-33页
· 低压键合过程关键步骤	第33-34页
· 实验结果及分析	第34-36页
· 流体测试结果	第36-38页
· 本章小结	第38-39页
第三章低压键合过程流动机理的研究	第39-57页
· 毛细力下的顶部填充现象	第39-40页
· 热键合顶部填充机理	第39-40页
· 微纳通道中毛细现象的特点	第40页
· 纯毛细现象下流体在微纳通道中流动分析计算	第40-46页
· 纯毛细现象下流体流动速率公式的推导	第40-44页
· 纯毛细现象下，不同参数对上升速率的影响	第44-46页
· 在毛细和挤压共同作用下流体的流动	第46-50页
· 毛细和挤压共同作用下流体流动速率公式	第46-47页
· 毛细和挤压共同作用时对流体上升速率的影响程度分析	第47-50页
· 有限元模拟和实验结果分析对比	第50-56页
· 纯毛细力下模拟及实验对比	第51-52页
· 低压低温键合条件下的键合效果	第52-53页
· 初始胶层厚度及通道宽度对填充过程的影响	第53-56页
· 本章小结	第56-57页
第四章结构优化设计	第57-66页
· 键合过程中压力对聚合物填充的影响	第57页
· 膨胀中心线的存在	第57-60页
· 应变有限元分析计算	第60-63页
· 顶部填充阻隔器的设计	第63-65页
· 本章小结	第65-66页
第五章结论与展望	第66-68页
· 全文总结	第66页
· 不足与期望	第66-67页
· 该技术未来发展展望	第67-68页
参考文献	第68-72页
攻读硕士学位期间发表的论文	第72页
攻读硕士学位期间参与的研究项目	第72-73 页

本篇论文共73页，点击这进入下载页面。

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