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横向热驱动RF MEMS开关研究
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横向热驱动RF MEMS开关研究
论文目录
 
摘要第1-5 页
ABSTRACT第5-10 页
第一章 绪论第10-21 页
　　· MEMS 及RF MEMS 技术第10-11 页
　　　　· 微电子机械系统（MEMS）简介第10 页
　　　　· RF MEMS 技术及其研究意义第10-11 页
　　· 静电驱动RF MEMS 开关研究概况第11-17 页
　　　　· DC 接触式串联开关原理及研究概况第11-14 页
　　　　· 电容式并联开关原理和研究概况第14-17 页
　　· 横向热驱动金属-金属接触开关研究进展第17-20 页
　　　　· 热-电-机械耦合MEMS 驱动器研究进展及应用第17-18 页
　　　　· 横向热驱动金属-金属接触开关研究进展第18-20 页
　　· 本论文的主要工作第20-21 页
第二章 RF MEMS 开关基本机械力学理论第21-40 页
　　· 静电驱动RF MEMS 开关机械力学模型第21-25 页
　　　　· 静电驱动MEMS 开关静态力学特性第21-23 页
　　　　· 静电驱动MEMS 开关动态力学特性第23-25 页
　　· 静电驱动RF MEMS 开关失效现象第25-28 页
　　　　· DC 接触式静电MEMS 开关中的翘曲效应第25-26 页
　　　　· DC 接触式静电MEMS 开关中的粘连效应第26-28 页
　　· 横向热驱动器原理第28-36 页
　　　　· 折叠U 型梁热驱动器原理第28-32 页
　　　　· V 型梁热驱动器原理第32-36 页
　　· 横向热驱动MEMS 开关结构设计第36-39 页
　　　　· 折叠U 型梁热驱动单刀单掷MEMS 开关结构第36-38 页
　　　　· V 型梁热驱动单刀双掷开关结构第38-39 页
　　· 本章小节第39-40 页
第三章 RF MEMS 开关电磁模型第40-49 页
　　· 共面波导（CPW）传输线分析与设计第40-44 页
　　　　· 共面波导（CPW）传输线特性分析第40-41 页
　　　　· 共面波导（CPW）传输线尺寸设计第41-44 页
　　· RF MEMS 开关电磁模型第44-47 页
　　　　· 截止（up）态电容第45-46 页
　　　　· 开关up 态等效阻抗和隔离度第46 页
　　　　· 开启（down）态电阻第46-47 页
　　　　· 开关down 态等效阻抗和损耗第47 页
　　· 本章小节第47-49 页
第四章 横向热驱动RF MEMS 开关性能仿真第49-60 页
　　· IntelliSuite 有限元仿真软件介绍第49 页
　　· HFSS 电磁仿真软件介绍第49-50 页
　　· 横向热驱动单刀单掷（SPST）RF MEMS 开关性能分析第50-54 页
　　　　· 单刀单掷MEMS 开关机械特性分析第50-52 页
　　　　· 单刀单掷MEMS 开关电磁特性分析第52-54 页
　　· 横向热驱动单刀双掷（SPDT）RF MEMS 开关性能分析第54-59 页
　　　　· 单刀双掷MEMS 开关机械特性分析第54-58 页
　　　　· 单刀双掷MEMS 开关电磁特性分析第58-59 页
　　· 本章小节第59-60 页
第五章 横向热驱动MEMS 开关制作工艺介绍与版图设计第60-70 页
　　· MetalMUMPs 工艺介绍第60 页
　　· 横向热驱动MEMS 开关工艺流程第60-64 页
　　· 横向热驱动MEMS 开关版图设计第64-68 页
　　　　· MetalMUMPs 工艺版图设计规则第64-65 页
　　　　· 横向热驱动单刀单掷开关版图设计第65-66 页
　　　　· 横向热驱动单刀双掷开关版图设计第66-68 页
　　　　· 芯片整体版图第68 页
　　· 横向热驱动MEMS 开关制作结果第68-69 页
　　· 本章小节第69-70 页
第六章 结论第70-72 页
致谢第72-73 页
参考文献第73-77 页
攻读硕士期间取得的研究成果第77-78 页

本篇论文共78页，点击这进入下载页面。
 
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