硅基微纳光波导集成型滤波器与光电探测器研究



硅基微纳光波导集成型滤波器与光电探测器研究

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硅基微纳光波导集成型滤波器与光电探测器研究

论文目录
致谢	第1-7页
摘要	第7-9页
Abstract	第9-11页
目次	第11-13页
1 绪论	第13-23页
· 信息与通信技术的发展现状和光集成器件	第13-19页
· 硅光子学	第19-20页
· 本论文的主要内容和创新点	第20-23页
2 光波导基本理论和数值计算方法	第23-41页
· 光波导概述	第23-24页
· 板波导及其解析计算方法	第24-27页
· 条形波导及其近似计算方法	第27-29页
· 数值计算方法	第29-41页
3 硅基微纳光波导的设计、分析和制作	第41-70页
· 硅基微纳强限制光波导概述	第41-42页
· 深刻蚀二氧化硅脊形光波导的制作和测试	第42-54页
· SU-8聚合物脊形光波导的制作和测试	第54-57页
· 硅纳米线光波导的弯曲特性研究	第57-70页
4 硅纳米线阵列波导光栅的通道均匀性设计	第70-85页
· 阵列波导光栅概述	第70-72页
· 硅纳米线阵列波导光栅的通道均匀性设计	第72-85页
5 基于硅纳米线微环谐振器的超高密度波分复用器	第85-95页
· 背景陈述	第85-86页
· 微环谐振器概述	第86-88页
· 基于硅纳米线微环谐振器的超高密度波分复用器	第88-95页
6 InGaAs PIN光电探测器和硅纳米线光波导的异质集成	第95-112页
· 硅和Ⅲ-Ⅴ族材料的异质集成	第95-97页
· 采用BCB聚合物的晶片粘合工艺	第97-98页
· InGaAs PIN探测器和硅纳米线光波导的集成	第98-112页
7 总结与展望	第112-114页
参考文献	第114-131页
作者简介	第131-134 页

本篇论文共134页，点击这进入下载页面。

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