光刻投影物镜像质分析及补偿研究



光刻投影物镜像质分析及补偿研究

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光刻投影物镜像质分析及补偿研究

论文目录
摘要	第1-7页
Abstract	第7-9页
第1章绪论	第12-38页
1.1 课题研究背景	第12-14页
1.2 光刻投影物镜的发展	第14-28页
1.3 相关领域的研究现状	第28-35页
1.4 课题研究目的及意义	第35页
1.5 论文的主要研究内容和论文结构安排	第35-38页
第2章光刻投影物镜	第38-51页
2.1 光刻投影物镜的成像原理	第38-46页
2.2 光刻投影物镜的像质评价	第46-50页
2.3 小结	第50-51页
第3章光刻投影物镜的波像差分析与补偿	第51-89页
3.1 波像差表示	第51-56页
3.2 波像差对像面位置的影响	第56-61页
3.3 制造像差分析与补偿	第61-62页
3.4 工况像差分析与补偿	第62-87页
3.5 小结	第87-89页
第4章光刻投影物镜的畸变分析与补偿	第89-111页
4.1 畸变表示	第89-92页
4.2 远心度对畸变的影响	第92-98页
4.3 掩模面对畸变的影响	第98-107页
4.4 彗差对畸变的影响	第107-109页
4.5 小结	第109-111页
第5章光刻投影物镜的杂散光分析与控制	第111-126页
5.1 杂散光	第111-113页
5.2 短中程杂散光	第113-120页
5.3 远程杂散光	第120-121页
5.4 数值孔径一致性	第121-124页
5.5 小结	第124-126页
第6章结论	第126-129页
6.1 主要研究成果	第126-127页
6.2 创新点	第127页
6.3 工作展望	第127-129页
参考文献	第129-137页
在学期间学术成果情况	第137-139页
指导教师及作者简介	第139-140页
致谢	第140页

本篇论文共140页，点击这进入下载页面。

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