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基于表面势的多晶硅纳米线晶体管直流(DC)紧凑模型的研究

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基于表面势的多晶硅纳米线晶体管直流(DC)紧凑模型的研究
论文目录
 
摘要第1-7页
ABSTRACT第7-16页
1 绪论第16-31页
  · 研究的背景和意义第16-22页
  · 多晶硅纳米线晶体管器件模型的研究现状第22-27页
    · 单栅多晶硅SOI晶体管紧凑模型第23-24页
    · 双栅多晶硅纳米线晶体管紧凑模型第24-25页
    · 三栅多晶硅纳米线晶体管紧凑模型第25页
    · 围栅多晶硅纳米线晶体管紧凑模型第25-26页
    · 存在的主要问题第26-27页
  · 主要研究内容与结构第27-30页
  · 本章小结第30-31页
2 单栅多晶硅SOI晶体管的直流紧凑模型第31-48页
  · 引言第31-32页
  · 单栅多晶硅SOI晶体管表面势的非迭代求解第32-43页
  · 单栅多晶硅SOI晶体管的漏电流解析模型第43-47页
  · 本章小结第47-48页
3 双栅多晶硅纳米线晶体管的直流紧凑模型第48-73页
  · 引言第48-49页
  · 双栅多晶硅纳米线晶体管表面势的非迭代求解第49-68页
    · 分区域近似法表面势的非迭代求解第51-61页
    · 有效电荷密度法表面势的非迭代求解第61-68页
  · 双栅多晶硅纳米线晶体管的漏电流模型第68-72页
  · 本章小结第72-73页
4 三栅多晶硅纳米线晶体管的直流紧凑模型第73-89页
  · 引言第73-74页
  · 三栅多晶硅纳米线晶体管表面势的非迭代求解第74-83页
    · 三栅多晶硅纳米线晶体管的类单栅SOI晶体管表面势非迭代求解第76-78页
    · 三栅多晶硅纳米线晶体管的类双栅晶体管表面势非迭代求解第78-79页
    · 三栅多晶硅纳米线晶体管表面势的非迭代求解第79-81页
    · 三栅多晶硅纳米线晶体管表面势的非迭代算法验证第81-83页
  · 三栅多晶硅纳米线晶体管的漏电流解析模型第83-88页
  · 本章小结第88-89页
5 围栅多晶硅纳米线晶体管的直流紧凑模型第89-105页
  · 引言第89-91页
  · 围栅多晶硅纳米线晶体管表面势的非迭代求解第91-97页
  · 围栅多晶硅纳米线晶体管的漏电流模型第97-104页
  · 本章小结第104-105页
6 总结与展望第105-108页
  · 总结第105-106页
  · 展望第106-108页
参考文献第108-128页
附录I 围栅多晶硅纳米线晶体管ATLAS SILVACO仿真输入文件第128-130页
攻读博士学位期间取得的研究成果第130-132页
致谢第132页

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