基于表面势的多晶硅纳米线晶体管直流（DC）紧凑模型的研究



基于表面势的多晶硅纳米线晶体管直流（DC）紧凑模型的研究

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基于表面势的多晶硅纳米线晶体管直流（DC）紧凑模型的研究

论文目录
摘要	第1-7页
ABSTRACT	第7-16页
1 绪论	第16-31页
· 研究的背景和意义	第16-22页
· 多晶硅纳米线晶体管器件模型的研究现状	第22-27页
· 单栅多晶硅SOI晶体管紧凑模型	第23-24页
· 双栅多晶硅纳米线晶体管紧凑模型	第24-25页
· 三栅多晶硅纳米线晶体管紧凑模型	第25页
· 围栅多晶硅纳米线晶体管紧凑模型	第25-26页
· 存在的主要问题	第26-27页
· 主要研究内容与结构	第27-30页
· 本章小结	第30-31页
2 单栅多晶硅SOI晶体管的直流紧凑模型	第31-48页
· 引言	第31-32页
· 单栅多晶硅SOI晶体管表面势的非迭代求解	第32-43页
· 单栅多晶硅SOI晶体管的漏电流解析模型	第43-47页
· 本章小结	第47-48页
3 双栅多晶硅纳米线晶体管的直流紧凑模型	第48-73页
· 引言	第48-49页
· 双栅多晶硅纳米线晶体管表面势的非迭代求解	第49-68页
· 分区域近似法表面势的非迭代求解	第51-61页
· 有效电荷密度法表面势的非迭代求解	第61-68页
· 双栅多晶硅纳米线晶体管的漏电流模型	第68-72页
· 本章小结	第72-73页
4 三栅多晶硅纳米线晶体管的直流紧凑模型	第73-89页
· 引言	第73-74页
· 三栅多晶硅纳米线晶体管表面势的非迭代求解	第74-83页
· 三栅多晶硅纳米线晶体管的类单栅SOI晶体管表面势非迭代求解	第76-78页
· 三栅多晶硅纳米线晶体管的类双栅晶体管表面势非迭代求解	第78-79页
· 三栅多晶硅纳米线晶体管表面势的非迭代求解	第79-81页
· 三栅多晶硅纳米线晶体管表面势的非迭代算法验证	第81-83页
· 三栅多晶硅纳米线晶体管的漏电流解析模型	第83-88页
· 本章小结	第88-89页
5 围栅多晶硅纳米线晶体管的直流紧凑模型	第89-105页
· 引言	第89-91页
· 围栅多晶硅纳米线晶体管表面势的非迭代求解	第91-97页
· 围栅多晶硅纳米线晶体管的漏电流模型	第97-104页
· 本章小结	第104-105页
6 总结与展望	第105-108页
· 总结	第105-106页
· 展望	第106-108页
参考文献	第108-128页
附录I 围栅多晶硅纳米线晶体管ATLAS SILVACO仿真输入文件	第128-130页
攻读博士学位期间取得的研究成果	第130-132页
致谢	第132页

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