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聚酯圆筒内表面阻隔DLC薄膜制备及性能研究
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聚酯圆筒内表面阻隔DLC薄膜制备及性能研究
论文目录
 
摘要第1-6页
Abstract第6-16页
第1章 绪论第16-37页
　　· 引言第16-17页
　　· 气体阻隔材料国内外研究现状第17-24页
　　　　· 气体阻隔材料的分类第17-19页
　　　　· 气体阻隔涂层的作用机理第19-21页
　　　　· 气体阻隔DLC 薄膜的研究现状第21-24页
　　· 圆筒状聚合物容器内壁DLC 薄膜研究现状第24-31页
　　　　· 等离子体增强化学气相沉积第25-27页
　　　　· 离子注入技术第27-30页
　　　　· 当前用于高阻隔PET 瓶的商业化涂层技术第30-31页
　　　　· PET 瓶内表面薄膜制备技术特点比较第31页
　　· 射频/直流复合等离子体技术研究现状第31-35页
　　　　· 射频等离子体自偏压产生机理第31-34页
　　　　· 射频/直流复合方法研究第34-35页
　　· 本文的研究内容第35-37页
第2章 膜层制备及表征方法第37-45页
　　· 实验材料第37页
　　· 实验设备及原理第37-40页
　　　　· 实验设备第37-38页
　　　　· 实验工艺第38-40页
　　· DLC 薄膜分析与表征方法第40-45页
　　　　· X 射线光电子能谱第40页
　　　　· 傅里叶变换红外光谱第40-41页
　　　　· 紫外可见光分光光度计第41页
　　　　· 光学表面轮廓仪第41页
　　　　· 扫描电子显微镜第41页
　　　　· 基体拉伸试验第41-42页
　　　　· 接触角测试第42页
　　　　· 气体透过率测试分析第42-44页
　　　　· 浸泡实验第44-45页
第3章 同轴筒状布局DC/RF 复合放电的数值模拟第45-68页
　　· 模型第45-48页
　　· 不同直流复合偏压下的数值模拟结果第48-56页
　　　　· 电势分布第49-50页
　　　　· 电子密度分布第50-51页
　　　　· 离子密度分布第51-52页
　　　　· Ar 离子运动矢量图第52-53页
　　　　· 电子能量分布函数第53-54页
　　　　· 离子能量空间分布第54-56页
　　· 不同射频幅值电压下的数值模拟结果第56-61页
　　　　· 电势分布第56页
　　　　· 电子密度分布第56-58页
　　　　· 离子密度分布第58-59页
　　　　· Ar 离子运动矢量图第59页
　　　　· 电子能量分布函数第59页
　　　　· 离子能量空间分布第59-61页
　　· 不同沉积气压下的数值模拟结果第61-67页
　　　　· 电势分布第61-62页
　　　　· 电子密度分布第62-63页
　　　　· 离子密度分布第63页
　　　　· Ar 离子运动矢量图第63-65页
　　　　· 电子能量分布函数第65-66页
　　　　· 离子能量空间分布第66-67页
　　· 本章小结第67-68页
第4章 DC/RF 复合等离子体电源及反应腔体内放电特性研究第68-82页
　　· 直流射频复合等离子体电源结构及输出特性第68-71页
　　　　· 直流射频复合等离子体电源第68-69页
　　　　· 直流射频复合等离子体电源特性第69-71页
　　· 直流射频复合等离子体放电特性第71-80页
　　　　· Langmuir 探针测试第71-75页
　　　　· 直流偏压对反应腔体内离子密度分布的影响第75-76页
　　　　· 射频功率对反应腔体内离子密度分布的影响第76-77页
　　　　· 工作气压对反应腔体内离子密度分布的影响第77-78页
　　　　· 反应腔体内离子密度分布均匀性的研究第78-80页
　　· 本章小结第80-82页
第5章 PET 圆筒内壁DLC 薄膜结构表征第82-107页
　　· DLC 薄膜的沉积速率第82-90页
　　　　· 直流偏压引入对沉积速率的影响第82-84页
　　　　· 射频输入功率对沉积速率的影响第84-85页
　　　　· 反应气压对沉积速率的影响第85-87页
　　　　· DLC 薄膜沉积机制分析第87-90页
　　· DLC 薄膜的组成与结构第90-97页
　　　　· 直流偏压引入对膜层组成和结构的影响第90-92页
　　　　· 射频输入功率对膜层组成和结构的影响第92-95页
　　　　· 反应气压对膜层组成和结构的影响第95-97页
　　　　· DLC 薄膜结构转变机制分析第97页
　　· DLC 薄膜的表面形貌第97-105页
　　　　· 直流偏压引入对膜层表面形貌的影响第98-100页
　　　　· 射频输入功率对膜层表面形貌的影响第100-101页
　　　　· 反应气压对膜层表面形貌的影响第101-102页
　　　　· PET 表面DLC 薄膜缺陷产生机制第102-105页
　　· 本章小结第105-107页
第6章 PET 圆筒内表面DLC 薄膜性能研究第107-137页
　　· DLC 薄膜的均匀性第107-117页
　　　　· DLC 薄膜均匀性的表征第107-108页
　　　　· 无磁场时DLC 薄膜均匀性研究第108-111页
　　　　· 磁场约束时DLC 薄膜轴向均匀性分析第111-115页
　　　　· DLC 薄膜沉积轴向均匀性分析第115-117页
　　· DLC 薄膜的结合力第117-125页
　　　　· DLC 薄膜结合力表征第117-118页
　　　　· 直流偏压对DLC 薄膜结合力的影响第118-119页
　　　　· 射频功率对DLC 薄膜结合力的影响第119-120页
　　　　· 工作气压对DLC 薄膜结合力的影响第120-124页
　　　　· 聚合物基体表面DLC 薄膜结合力的探讨第124-125页
　　· DLC 薄膜的阻隔性能第125-129页
　　　　· 直流偏压对DLC 薄膜阻隔性能的影响第125-126页
　　　　· 射频功率对DLC 薄膜阻隔性能的影响第126-127页
　　　　· 工作气压对DLC 薄膜阻隔性能的影响第127-128页
　　　　· DLC 薄膜气体阻隔作用机制分析第128-129页
　　· DLC 薄膜的稳定性第129-136页
　　　　· 表面润湿试验第129-132页
　　　　· 浸泡试验第132-134页
　　　　· DLC 薄膜稳定性的讨论第134-136页
　　· 本章小结第136-137页
第7章 内壁镀膜高阻隔PET 瓶中试生产样机设计第137-144页
　　· PET 瓶内壁PECVD 系统总体概况第137-138页
　　　　· 真空系统第137-138页
　　　　· 送气系统第138页
　　　　· 控制柜和专用电源第138页
　　　　· 转动机构第138页
　　· 多工位PET 瓶内壁PECVD 装置结构设计第138-141页
　　　　· 反应容器的机构设计第138-140页
　　　　· 反应容器的材料选择第140页
　　　　· 真空系统设计第140-141页
　　· 多工位PET 瓶内壁PECVD 机构调试第141-143页
　　· 本章小结第143-144页
结论第144-146页
参考文献第146-160页
攻读博士学位期间发表的学术论文第160-163页
致谢第163-164页
个人简历第164页

本篇论文共164页，点击这进入下载页面。
 
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