熔石英表面大气等离子体去损伤加工关键技术研究



熔石英表面大气等离子体去损伤加工关键技术研究

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熔石英表面大气等离子体去损伤加工关键技术研究

论文目录
摘要	第1-10页
ABSTRACT	第10-12页
第一章绪论	第12-20页
1.1 课题来源与意义	第12-14页
1.1.1 课题来源	第12页
1.1.2 课题研究的背景与意义	第12-14页
1.2 国内外研究现状	第14-19页
1.2.1 去损伤加工现状	第14页
1.2.2 大气等离子体加工技术发展现状	第14-18页
1.2.3 技术对比及加工定位	第18-19页
1.3 论文主要研究内容	第19-20页
第二章大气等离子体加工原理与系统搭建	第20-29页
2.1 大气等离子体加工原理	第20-23页
2.1.1 电感耦合等离子体发生原理	第20-21页
2.1.2 材料去除原理	第21-23页
2.2 大气等离子体加工系统设计	第23-28页
2.2.1 大气等离子体加工系统简介	第23-24页
2.2.2 新一代加工系统设计	第24-28页
2.3 本章小结	第28-29页
第三章大气等离子体去损伤研究	第29-44页
3.1 亚表面损伤综述	第29-30页
3.1.1 亚表面损伤的产生	第29页
3.1.2 亚表面损伤形式	第29-30页
3.1.3 亚表面损伤检测	第30页
3.2 去除磨削损伤	第30-38页
3.2.1 去损伤能力验证	第30-33页
3.2.2 去损伤过程研究	第33-36页
3.2.3 不同磨削工艺的损伤去除	第36-38页
3.3 去除划痕	第38-42页
3.4 去损伤模型	第42-43页
3.5 本章小结	第43-44页
第四章大气等离子体面形加工去除函数研究	第44-62页
4.1 去除函数提取	第44-47页
4.1.1 斑点法提取去除函数	第45页
4.1.2 线性扫描法提取去除函数	第45-47页
4.2 去除函数鲁棒性	第47-50页
4.2.1 靶距	第47-48页
4.2.2 功率	第48-49页
4.2.3 反应气体流量	第49-50页
4.3 入射角度对去除函数的影响	第50-55页
4.4 去除函数的时变性研究	第55-61页
4.4.1 扫描速度对去除函数的影响	第55-58页
4.4.2 加工点表面温度对去除函数的影响	第58-61页
4.5 本章小结	第61-62页
第五章大气等离子体均匀去除加工	第62-74页
5.1 热量累积效应处理	第62-66页
5.1.1 热量不均衡累积处理	第62-64页
5.1.2 整体热量累积处理	第64-66页
5.2 边缘效应处理	第66-67页
5.3 大镜加工实验	第67-73页
5.3.1 平面均匀去除	第67-70页
5.3.2 曲面均匀去除	第70-73页
5.4 本章小结	第73-74页
第六章总结与展望	第74-76页
6.1 全文总结	第74-75页
6.2 研究展望	第75-76页
致谢	第76-77页
参考文献	第77-80页
作者在学期间取得的学术成果	第80页

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