面向特征建模方式的微器件工艺方法研究



面向特征建模方式的微器件工艺方法研究

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面向特征建模方式的微器件工艺方法研究

论文目录
摘要	第2-3页
abstract	第3-7页
1 绪论	第7-11页
1.1 研究背景	第7-8页
1.2 MEMS系统的研究现状	第8-10页
1.2.1 国外研究现状	第8-9页
1.2.2 国内研究现状	第9-10页
1.3 论文的主要研究工作	第10-11页
2 微器件表面微加工工艺及相关数据库的建立	第11-26页
2.1 MEMS表面微加工技术概述	第11-14页
2.2 常见面硅微加工方法	第14-23页
2.2.1 薄膜沉积	第14-17页
2.2.2 光刻	第17-20页
2.2.3 刻蚀	第20-23页
2.3 制造资源数据库的建立	第23-26页
3 微器件特征模型的工艺分层	第26-40页
3.1 特征建模技术概述	第26页
3.2 建立面向特征的微器件三维模型	第26-31页
3.2.1 建立微器件三维模型实体完成形状特征的建立	第27-30页
3.2.2 特征基于类的表现形式及工艺特征的添加	第30-31页
3.3 微器件特征模型的工艺分层	第31-40页
3.3.1 有向图概述	第31-32页
3.3.2 广度优先搜索算法概述	第32-34页
3.3.3 模型的工艺分层	第34-40页
4 面硅类微器件表面微加工掩模推导方法	第40-53页
4.1 面向“逆向”设计模式的掩模推导方法	第40-41页
4.2 掩模自动生成的基本算法	第41-53页
4.2.1 针对纵向单体特征的掩模推导	第41-44页
4.2.2 针对阶梯凸结构的掩模推导	第44-48页
4.2.3 针对具有悬空结构特征的掩模推导	第48-52页
4.2.4 针对牺牲层的掩模推导	第52-53页
5 算法辅助验证平台的搭建及实例验证	第53-67页
5.1 系统开发相关技术与工具介绍	第53-55页
5.1.1 SQL Server数据库管理技术	第53-54页
5.1.2 基于Open CASCADE几何内核的建模与信息提取技术	第54-55页
5.1.3 Visual C++开发环境	第55页
5.2 环境配置	第55-58页
5.3 微器件工艺方法研究辅助平台搭建及实例验证	第58-67页
5.3.1 基于MFC框架的Open CASCADE单文档OCAF应用程序建立	第58-61页
5.3.2 在平台中微器件三维模型的构建及简单交互操作	第61-62页
5.3.3 模型工艺分层的实现及掩模推导展示	第62-67页
6 结论	第67-69页
6.1 结论	第67页
6.2 展望	第67-69页
参考文献	第69-73页
攻读硕士学位期间发表的论文	第73-74页
致谢	第74-76页

本篇论文共76页，点击这进入下载页面。

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