PECVD制备多层氮化硅减反膜的工艺研究



PECVD制备多层氮化硅减反膜的工艺研究

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PECVD制备多层氮化硅减反膜的工艺研究

论文目录
摘要	第1-6页
abstract	第6-11页
第一章绪论	第11-29页
· 太阳能光伏产业的前景及发展现状	第11-15页
· 太阳电池的分类	第15-17页
· 晶体硅太阳电池	第15-16页
· 薄膜太阳电池	第16-17页
· 光化学太阳电池	第17页
· 硅材料的制备工艺介绍	第17-19页
· 多晶硅锭的制备	第17-18页
· 单晶硅锭的制备	第18-19页
· 晶硅太阳电池的制备工艺介绍	第19-24页
· 硅片检测	第20页
· 清洗制绒	第20-21页
· 扩散制结	第21页
· 等离子刻蚀	第21-22页
· 去磷硅玻璃	第22页
· 沉积钝化减反膜	第22-23页
· 丝网印刷	第23-24页
· 快速烧结	第24页
· 测试分选	第24页
· 氮化硅减反膜在晶硅太阳电池中的应用	第24-28页
· 氮化硅薄膜的发展	第24-26页
· 与其他减反膜的比较	第26页
· 光伏行业中常见的氮化硅减反膜制备方法	第26-28页
· 本文研究的主要内容	第28-29页
第二章理论分析	第29-36页
· 太阳电池原理	第29-31页
· 半导体的特点	第29页
· 本征半导体	第29-30页
· 掺杂半导体	第30页
· PN结的形成与特性	第30-31页
· 晶硅太阳电池原理	第31-32页
· 晶硅太阳电池的减反射与氢钝化	第32-34页
· 晶硅太阳电池的减反射	第32-34页
· 晶硅太阳电池的氢钝化	第34页
· 影响太阳电池光电转化效率的因素	第34-36页
第三章单双层氮化硅钝化减反膜的比对研究	第36-43页
· 主要设备和仪器	第36-37页
· 主要原材料及规格	第37页
· 单层氮化硅减反膜和双层氮化硅减反膜的的制备	第37-39页
· 氮化硅减反膜的制备	第38页
· 氮化硅减反膜的表征	第38-39页
· 结果与讨论	第39-42页
· 双层氮化硅减反膜对多晶硅少子寿命的影响	第39-40页
· 双层氮化硅减反膜对多晶硅反射率的影响	第40-41页
· 双层氮化硅镀膜对多晶硅太阳能电池电性能的影响	第41-42页
· 本章小结	第42-43页
第四章工艺参数对双层氮化硅减反膜性能的影响研究	第43-51页
· 主要设备和仪器	第43-44页
· 主要原材料及规格	第44页
· 双层氮化硅减反膜的制备与表征	第44-45页
· 双层氮化硅减反膜的制备	第45页
· 双层氮化硅减反膜的表征	第45页
· 结果与讨论	第45-50页
· 温度对双层氮化硅减反膜性能的影响	第45-46页
· 射频频率对双层氮化硅减反膜性能的影响	第46-47页
· 射频功率对双层氮化硅性能的影响	第47-48页
· 腔室压力对氮化硅减反膜性能的影响	第48-49页
· 优化前后对太阳电池电性能对比分析	第49-50页
· 本章小结	第50-51页
第五章彩色高效太阳电池的探索性研究	第51-57页
· 彩色高效太阳电池的发展现状与意义	第51-52页
· 彩色高效太阳电池的制备方法	第52-54页
· 磁控溅射	第53-54页
· 电子束蒸发镀膜	第54页
· PECVD与电子束蒸发镀膜结合制备彩色高效太阳电池	第54-55页
· 本章小结	第55-57页
第六章结论与展望	第57-59页
参考文献	第59-63页
致谢	第63-64页
附录A (攻读学位期间发表的论文)	第64-65页
附录B	第65-66页
附件	第66-76页

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