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多晶硅生产中氯硅烷高效提纯技术及节能优化研究
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多晶硅生产中氯硅烷高效提纯技术及节能优化研究
论文目录
 
摘要第1-5页
ABSTRACT第5-9页
第1章 文献综述第9-29页
　　1.1 研究背景第9-17页
　　　　1.1.1 多晶硅应用及意义第9-10页
　　　　1.1.2 多晶硅发展前景及工艺现状第10-15页
　　　　1.1.3 多晶硅生产中存在的问题第15-17页
　　1.2 氯硅烷提纯分离技术发展与应用现状第17-22页
　　　　1.2.1 杂质在氯硅烷中的存在形式第18页
　　　　1.2.2 杂质对多晶硅产品质量的影响第18-19页
　　　　1.2.3 氯硅烷提纯分离技术发展与应用现状第19-22页
　　1.3 氯硅烷提纯分离中主要的节能途径第22-26页
　　　　1.3.1 多效精馏第22-23页
　　　　1.3.2 热泵精馏第23-24页
　　　　1.3.3 差压热耦合精馏第24-25页
　　　　1.3.4 高效的填料和新型塔板第25-26页
　　1.4 本文研究目的第26-29页
第2章 新型多孔精馏填料的工业化应用研究第29-45页
　　2.1 引言第29页
　　2.2 新型多孔精馏填料试验方法第29-30页
　　2.3 新型多孔精馏填料试验过程第30-32页
　　　　2.3.1 试验方案第30页
　　　　2.3.2 试验过程第30-32页
　　2.4 结果与讨论第32-42页
　　　　2.4.1 全回流试验结果第32-38页
　　　　2.4.2 两塔并行试验结果第38-41页
　　　　2.4.3 节能试验第41-42页
　　2.5 本章小结第42-45页
第3章 差压热耦合节能精馏技术工业化应用研究第45-69页
　　3.1 差压热耦合节能试验方案第45-47页
　　3.2 差压热耦合精馏试验研究方法第47-49页
　　　　3.2.1 模拟方法第47-48页
　　　　3.2.2 精馏单元模拟第48-49页
　　3.3 差压热耦合精馏模拟过程第49-65页
　　　　3.3.1 精馏提纯塔的模拟设计及优化第49-55页
　　　　3.3.2 理论模拟与实际生产差异性分析第55-56页
　　　　3.3.3 单塔组差压热耦合第56-59页
　　　　3.3.4 并联塔差压热耦合第59-61页
　　　　3.3.5 双塔组差压热耦合第61-65页
　　3.4 结果与讨论第65-67页
　　　　3.4.1 节能效果分析第65-66页
　　　　3.4.2 产品质量对比第66-67页
　　　　3.4.3 产业化应用第67页
　　3.5 本章小结第67-69页
第4章 结论与展望第69-71页
　　4.1 结论第69-70页
　　4.2 展望第70-71页
参考文献第71-77页
发表论文和参加科研情况说明第77-79页
致谢第79-80页

本篇论文共80页，点击这进入下载页面。
 
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