多晶硅生产中氯硅烷高效提纯技术及节能优化研究
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多晶硅生产中氯硅烷高效提纯技术及节能优化研究
论文目录
摘要
第1-5页
ABSTRACT
第5-9页
第1章 文献综述
第9-29页
1.1 研究背景
第9-17页
1.1.1 多晶硅应用及意义
第9-10页
1.1.2 多晶硅发展前景及工艺现状
第10-15页
1.1.3 多晶硅生产中存在的问题
第15-17页
1.2 氯硅烷提纯分离技术发展与应用现状
第17-22页
1.2.1 杂质在氯硅烷中的存在形式
第18页
1.2.2 杂质对多晶硅产品质量的影响
第18-19页
1.2.3 氯硅烷提纯分离技术发展与应用现状
第19-22页
1.3 氯硅烷提纯分离中主要的节能途径
第22-26页
1.3.1 多效精馏
第22-23页
1.3.2 热泵精馏
第23-24页
1.3.3 差压热耦合精馏
第24-25页
1.3.4 高效的填料和新型塔板
第25-26页
1.4 本文研究目的
第26-29页
第2章 新型多孔精馏填料的工业化应用研究
第29-45页
2.1 引言
第29页
2.2 新型多孔精馏填料试验方法
第29-30页
2.3 新型多孔精馏填料试验过程
第30-32页
2.3.1 试验方案
第30页
2.3.2 试验过程
第30-32页
2.4 结果与讨论
第32-42页
2.4.1 全回流试验结果
第32-38页
2.4.2 两塔并行试验结果
第38-41页
2.4.3 节能试验
第41-42页
2.5 本章小结
第42-45页
第3章 差压热耦合节能精馏技术工业化应用研究
第45-69页
3.1 差压热耦合节能试验方案
第45-47页
3.2 差压热耦合精馏试验研究方法
第47-49页
3.2.1 模拟方法
第47-48页
3.2.2 精馏单元模拟
第48-49页
3.3 差压热耦合精馏模拟过程
第49-65页
3.3.1 精馏提纯塔的模拟设计及优化
第49-55页
3.3.2 理论模拟与实际生产差异性分析
第55-56页
3.3.3 单塔组差压热耦合
第56-59页
3.3.4 并联塔差压热耦合
第59-61页
3.3.5 双塔组差压热耦合
第61-65页
3.4 结果与讨论
第65-67页
3.4.1 节能效果分析
第65-66页
3.4.2 产品质量对比
第66-67页
3.4.3 产业化应用
第67页
3.5 本章小结
第67-69页
第4章 结论与展望
第69-71页
4.1 结论
第69-70页
4.2 展望
第70-71页
参考文献
第71-77页
发表论文和参加科研情况说明
第77-79页
致谢
第79-80页
本篇论文共
80
页,
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。
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