GaAs MOSFET射频开关器件与电路的研究



GaAs MOSFET射频开关器件与电路的研究

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GaAs MOSFET射频开关器件与电路的研究

论文目录
摘要	第1-5页
Abstract	第5-9页
第一章绪论	第9-13页
· 研究背景	第9-10页
· 射频开关的发展	第10-12页
· 本文主要内容	第12-13页
第二章 GaAs MOSFET 器件和工艺	第13-29页
· GaAs MOSFET 器件	第13-16页
· GaAs MOSFET 器件工艺流程	第16-20页
· 欧姆接触	第16-17页
· 台面隔离	第17-18页
· 栅介质沉积	第18页
· 栅槽刻蚀和栅金属蒸发	第18-20页
· 氧气氛围下 InP/Al2O3热退火的研究	第20-24页
· O3处理条件下 ALD 生长 Al2O3的研究	第24-29页
第三章射频开关器件建模	第29-45页
· 射频开关小信号模型	第29-30页
· 小信号模型的参数提取	第30-33页
· PAD 电容的提取	第30-32页
· 寄生电感和电阻	第32-33页
· 射频开关器件的小信号模型提参	第33-36页
· 器件特性表征	第36-42页
· 直流特性表征	第37-39页
· 开关小信号特性表征	第39-40页
· 开关功率特性表征	第40-42页
· 小信号模型建模与拟合	第42-45页
第四章射频开关电路的设计	第45-57页
· 射频开关基础	第45-51页
· 射频开关分类	第45-46页
· 射频开关的基本工作原理	第46页
· 射频开关的主要性能指标	第46-48页
· SPDT 射频开关	第48-50页
· 改善射频开关线性度的方法	第50-51页
· SP4T 射频开关电路的设计	第51-57页
第五章总结与展望	第57-58页
致谢	第58-59页
硕士期间发表论文	第59-60页
参考文献	第60-64页

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