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用离子源助镀法蒸镀TiO2薄膜研究
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用离子源助镀法蒸镀TiO2薄膜研究
论文目录
 
摘要第1-4页
Abstract第4-7页
第一章 绪论第7-23页
　　· TIO_2的结构及其性质和应用第7-10页
　　　　· 二氧化钛（TiO_2）的晶体结构第7-8页
　　　　· TiO_2的物化性质及应用第8页
　　　　· TiO_2薄膜的性质和应用第8-10页
　　· 光学镀膜基础知识第10-15页
　　　　· 真空的定义第10-11页
　　　　· 真空系统真空度等级划分第11页
　　　　· 真空泵抽气原理及工作范围第11-12页
　　　　· 光学镀膜膜厚监控系统：分为光学监控、物理监控第12-13页
　　　　· 激光器谐振腔腔面镀膜膜层第13页
　　　　· 常用材料基本性能第13-15页
　　· TIO_2薄膜的制备方法第15-22页
　　　　· 化学气相沉积(CVD)第15-16页
　　　　· 喷雾热解法(Spray pyrolysis)第16页
　　　　· 分子束外延(MBE)技术第16页
　　　　· 磁控溅射(Magnetron sputtering)第16-17页
　　　　· 原子层外延生长法(ALE)第17页
　　　　· 溶胶-凝胶(Sol-Gel)第17-18页
　　　　· 离子辅助沉积技术（IAD）第18-22页
　　· 论文的主要研究工作第22-23页
第二章 光学膜系理论算法及影响因素研究第23-27页
　　· 光学膜系的理论算法第23-25页
　　　　· 单层膜的反射率及其特征矩阵第23-24页
　　　　· 多层膜的反射率及其特征矩阵第24-25页
　　· 工艺参数对膜层性能影响第25-27页
　　　　· 基片温度第25页
　　　　· 腔室真空度第25页
　　　　· 蒸镀速率第25页
　　　　· 氧气流量第25-27页
第三章 实验及结论第27-37页
　　· 引言第27-28页
　　· 电子束蒸发离子束助镀法制备样品第28页
　　　　· 实验仪器与主要膜料第28页
　　· 样品制备过程第28-31页
　　　　· 真空镀膜设备介绍第28-31页
　　· 样品测试及实验结果第31-37页
　　　　· 膜层反射率及折射率测量第31-32页
　　　　· 扫描电子显微镜 SEM 及理论分析第32-34页
　　　　· 蒸镀条件确定第34-36页
　　　　· 确定工艺条件的应用第36-37页
第四章 结论与展望第37-39页
　　· 结论第37页
　　· 展望第37-39页
第五章 致谢第39-41页
参考文献第41-43页

本篇论文共43页，点击这进入下载页面。
 
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