教育论文网

基于ReaxFF的铜CMP微观化学作用和材料去除研究
硕士博士毕业论文站内搜索    
分类：教育论文网→工业技术论文→金属学与金属工艺论文→金属学与热处理论文→金属材料论文→有色金属及其合金论文→重有色金属及其合金论文
基于ReaxFF的铜CMP微观化学作用和材料去除研究
论文目录
 
摘要第1-4页
Abstract第4-5页
1 绪论第8-16页
　　　　1.1 课题来源、研究背景及意义第8-9页
　　　　　　　　1.1.1 课题来源第8页
　　　　　　　　1.1.2 研究背景及意义第8-9页
　　　　1.2 化学机械抛光第9-12页
　　　　1.3 铜化学机械抛光研究现状第12-15页
　　　　　　　　1.3.1 铜CMP的实验研究现状第12-13页
　　　　　　　　1.3.2 铜CMP的仿真研究现状第13-15页
　　　　1.4 本文主要工作第15-16页
2 分子动力学方法第16-27页
　　　　2.1 引言第16-17页
　　　　2.2 经典分子动力学基本原理第17-19页
　　　　　　　　2.2.1 经典牛顿运动方程的求解第17页
　　　　　　　　2.2.2 原子间势函数第17-18页
　　　　　　　　2.2.3 系综的选择第18页
　　　　　　　　2.2.4 边界条件和步长第18-19页
　　　　2.3 基于ReaxFF的反应分子动力学方法第19-25页
　　　　　　　　2.3.1 各项能量介绍第20-25页
　　　　　　　　2.3.2 力场文件的确定第25页
　　　　2.4 反应分子动力学仿真软件第25页
　　　　2.5 分子动力学模拟存在的问题第25页
　　　　2.6 本章小结第25-27页
3 反应分子动力学模拟铜CMP过程第27-38页
　　　　3.1 引言第27页
　　　　3.2 仿真模型的建立与力场文件的确定第27-28页
　　　　　　　　3.2.1 模型的构建和力场选择第27-28页
　　　　　　　　3.2.2 模型和力场文件的验证第28页
　　　　3.3 含H_2O_2 水溶液的铜CMP模拟过程第28-35页
　　　　　　　　3.3.1 界面化学反应过程第29-33页
　　　　　　　　3.3.2 磨粒滑擦时铜材料去除过程第33-35页
　　　　3.4 化学机械协同作用第35-37页
　　　　3.5 本章小结第37-38页
4 不同抛光液对铜CMP的影响第38-49页
　　　　4.1 引言第38-39页
　　　　4.2 不同抛光液对微观化学反应的影响第39-45页
　　　　　　　　4.2.1 含H_2O_2 时微观化学反应研究第39-41页
　　　　　　　　4.2.2 不同H_2O_2 含量的微观化学反应研究第41-42页
　　　　　　　　4.2.3 只含有甘氨酸的微观化学反应研究第42-44页
　　　　　　　　4.2.4 含有H_2O_2+甘氨酸的微观化学反应研究第44-45页
　　　　4.3 不同抛光液对铜原子去除的影响第45-47页
　　　　　　　　4.3.1 不同抛光液条件下原子的去除第45-46页
　　　　　　　　4.3.2 不同H_2O_2 含量时原子的去除第46-47页
　　　　　　　　4.3.3 含有甘氨酸时原子的去除第47页
　　　　4.4 本章小结第47-49页
5 不同模拟条件对原子尺度铜CMP的影响第49-59页
　　　　5.1 引言第49页
　　　　5.2 模拟条件的影响第49-54页
　　　　　　　　5.2.1 抛光压力的影响第49-51页
　　　　　　　　5.2.2 抛光温度的影响第51-54页
　　　　5.3不同抛光液条件下铜CMP实验第54-58页
　　　　　　　　5.3.1 实验准备第54-56页
　　　　　　　　5.3.2铜CMP实验第56页
　　　　　　　　5.3.3 实验结果分析第56-58页
　　　　5.4 本章小结第58-59页
结论第59-61页
参考文献第61-67页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况第67-68页
致谢第68-69页

本篇论文共69页，点击这进入下载页面。
 
更多论文
基于ReaxFF的铜CMP微观化学作用和材
高中合作学习阅读教学模式的探究
基于蓝牙的复合通道控制协议的设计
英若诚及其戏剧翻译研究
《牛津英语》和《新世纪英语》教材
基于ARM9的带GPS导航PMP系统的研究
面向对象软件度量的研究及工具实现
论艺术的道德批评
基于Web服务的企业应用集成框架研究
一种支持IEEE 802.11e EDCA服务区分
日语专业大学生邮件中的拒绝特征及
当代文论话语中的文学传统问题研究
协同设计中协同感知问题的研究
4通道DVD马达驱动集成电路设计
基于角色的带多约束特性访问控制模
作为含义和意味存在的文学意义
安徽省高中英语教案个案调查研究
长庆铁边城油田元48区长4+5储层评价
Clos交叉矩阵中的路由算法研究
重组HIV-1包膜糖蛋白gp120和gp41的
小说第二人称叙述及其哲学内涵
关于英语课堂中学唱英文歌曲的实证
基于SVM的分类方法在内容管理中的应
光传输设备中采用Clos交叉矩阵的保
论德里达的解构主义文学观
基于ISO14000的生态工业园规划建设
促进思维发展的中学英语语法教学研
HPC中光互连网络体系结构的研究
城市循环经济发展规划研究
莫里斯·魏兹“反本质主义艺术观”
多媒体辅助高中英语教学的现状调查
二氢吡啶类衍生物的合成研究
论苏珊·朗格的符号论艺术哲学思想
汉语与越南语介词对比研究
啤酒花中植物雌激素样作用物质的提
低氧条件下大鼠大脑皮质星形胶质细
论网络文学创作的自由性
初中英语课堂教学中学生自主参与现
苦参配伍后化学成分变化的研究及丹
初中英语口语教学研究--基于提高学
糖类物质的PMP（1-苯基-3-甲基-5-吡
初三英语试卷讲评课现状调查与分析
陕北黄土高原退耕还林与生态环境建
《庄子》英译历程中的权力政治
光动力疗法的机理研究
高中阶段英语翻译教学现状的调查研
基于语义的信息集成方法研究
高职英语听说任务型语言教学的应用
生态工业园系统柔性研究--以陕西韩
认知理论与小学高年级英语写作过程
一株用于生物防治的Burkholderia菌
人教版高中英语教科书二十年沿革考
基于小波变换的图像检索技术研究
高一阶段设置英语阅读课的可行性分
基于主成分分析的人脸识别研究
外语阅读焦虑与英语成绩的相关性--
高速公路监控系统软件设计与实现
数据挖掘在英语在线学习平台中的应
基于小波变换的多重可分级视频编码
论典籍翻译中文化语境的重建--以〈
杜仲种子的化学成分研究
论功能翻译理论对儿童文学翻译的启
 
反应分子动力学论文 化学机械抛光论文 H_2O_2论文 甘氨酸论文 原子去除论文
版权申明：目录由用户ali**提供，www.51papers.com仅收录目录，作者需要删除这篇论文目录请点击这里。
| 设为首页||加入收藏||站内搜索引擎||站点地图||在线购卡|
版权所有 教育论文网 Copyright(C) All Rights Reserved