用于光纤通信系统的新型双吸收层光探测器的研究



用于光纤通信系统的新型双吸收层光探测器的研究

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用于光纤通信系统的新型双吸收层光探测器的研究

论文目录
摘要	第1-6页
ABSTRACT	第6-10页
第一章绪论	第10-14页
· 论文的研究背景、意义	第10-11页
· 论文的结构安排	第11-13页
参考文献	第13-14页
第二章高性能长波长PIN光探测器	第14-32页
· 光探测器的基本原理	第14-16页
· 光探测器的性能参数	第16-21页
· 量子效率分析	第16页
· 高速特性分析	第16-18页
· 光探测器的噪声分析	第18-19页
· 光探测器的暗电流分析	第19-21页
· 高性能长波长PIN光探测器的研究进展	第21-27页
· 蘑菇型波导探测器	第21-22页
· 谐振增强型光探测器(RCE-PD)	第22-23页
· InGaAs/InP漂移增强型双吸收层PINIP型光探测器	第23-25页
· “背对背”(back to back)的单极性光探测器	第25-26页
· 集成布拉格反射镜的双吸收层探测器	第26-27页
· 本章小结	第27-29页
参考文献	第29-32页
第三章双吸收层光探测器的等效电容特性研究	第32-43页
· 载流子运动的方程	第32-35页
· 泊松方程	第32-33页
· 载流子输运方程	第33页
· 载流子连续性方程	第33-35页
· 载流子迁移率模型	第35-36页
· 器件仿真流程	第36-37页
· 双吸收层光探测器的等效电容特性研究	第37-41页
· 器件的结构及其参数	第37-39页
· 器件的等效电容特性分析	第39-41页
· 本章小结	第41-42页
参考文献	第42-43页
第四章新型双吸收层光探测器的性能分析和优化	第43-53页
· 新型双吸收层光探测器的理论分析	第43-45页
· 新型双吸收层光探测器的仿真	第45-49页
· 器件吸收层厚度的选取	第45-47页
· 新型双吸收层光探测器的外延层结构	第47页
· 新型双吸收层光探测器的仿真结果分析	第47-49页
· 新型双吸收层光探测器的优化	第49-51页
· 本章小结	第51-52页
参考文献	第52-53页
第五章新型双吸收层光探测器的制作和性能测试	第53-63页
· 器件外延生长结构	第53-54页
· 器件的制作	第54-60页
· 腐蚀液的配制	第54-55页
· 光刻工艺制作掩膜	第55-56页
· 磁控溅射镀金属电极	第56页
· 光探测器的版图与制作流程	第56-59页
· 测试光刻板的制作	第59-60页
· 器件测试结果分析	第60-61页
· 本章小结	第61-62页
参考文献	第62-63页
第六章总结与展望	第63-65页
致谢	第65-66页
攻读硕士学位期间发表的学术论文	第66页

本篇论文共66页，点击这进入下载页面。

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