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氧化银薄膜的制备和相关性质研究

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氧化银薄膜的制备和相关性质研究
论文目录
 
摘要第1-5页
Abstract第5-7页
目录第7-9页
1 绪论第9-14页
  · 研究背景第9-11页
  · 氧化银薄膜的热分解原理第11-12页
  · 研究现状第12-13页
  · 本论文的主要研究内容第13-14页
2 Ag_xO薄膜的制备与表征方法第14-19页
  · Ag_xO薄膜的制备第14-16页
    · 磁控溅射的基本原理第14-15页
    · 磁控溅射的分类第15-16页
  · Ag_xO薄膜的表征第16-19页
3 沉积参数对Ag_xO薄膜微结构和光学性质的影响第19-34页
  · 反应气压对Ag_xO薄膜微结构的影响第19-24页
  · 溅射功率对Ag_xO薄膜微结构的影响第24-28页
  · 反应气压对Ag_xO薄膜光学性质的影响第28-30页
  · 溅射功率对Ag_xO薄膜光学性质的影响第30-33页
  · 小结第33-34页
4 单相Ag_2O薄膜热稳定性的研究第34-41页
  · 真空环境下热处理温度对Ag_2O微结构和光学性质的影响第34-40页
    · 热处理温度对Ag_2O薄膜晶体结构的影响第35-37页
    · 热处理温度对Ag_2O薄膜表面形貌的影响第37-38页
    · 热处理温度对Ag_2O薄膜光学性质的影响第38-40页
  · 小结第40-41页
5 总结第41-43页
参考文献第43-46页
个人简历与发表论文第46-47页
致谢第47页

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