氧化银薄膜的制备和相关性质研究
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氧化银薄膜的制备和相关性质研究
论文目录
摘要
第1-5页
Abstract
第5-7页
目录
第7-9页
1 绪论
第9-14页
· 研究背景
第9-11页
· 氧化银薄膜的热分解原理
第11-12页
· 研究现状
第12-13页
· 本论文的主要研究内容
第13-14页
2 Ag_xO薄膜的制备与表征方法
第14-19页
· Ag_xO薄膜的制备
第14-16页
· 磁控溅射的基本原理
第14-15页
· 磁控溅射的分类
第15-16页
· Ag_xO薄膜的表征
第16-19页
3 沉积参数对Ag_xO薄膜微结构和光学性质的影响
第19-34页
· 反应气压对Ag_xO薄膜微结构的影响
第19-24页
· 溅射功率对Ag_xO薄膜微结构的影响
第24-28页
· 反应气压对Ag_xO薄膜光学性质的影响
第28-30页
· 溅射功率对Ag_xO薄膜光学性质的影响
第30-33页
· 小结
第33-34页
4 单相Ag_2O薄膜热稳定性的研究
第34-41页
· 真空环境下热处理温度对Ag_2O微结构和光学性质的影响
第34-40页
· 热处理温度对Ag_2O薄膜晶体结构的影响
第35-37页
· 热处理温度对Ag_2O薄膜表面形貌的影响
第37-38页
· 热处理温度对Ag_2O薄膜光学性质的影响
第38-40页
· 小结
第40-41页
5 总结
第41-43页
参考文献
第43-46页
个人简历与发表论文
第46-47页
致谢
第47页
本篇论文共
47
页,
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。
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