磁控溅射法制备ZrO_2薄膜的研究



磁控溅射法制备ZrO_2薄膜的研究

分类：教育论文网→数理科学和化学论文→物理学论文→固体物理学论文→薄膜物理学论文→薄膜的生长、结构和外延论文

磁控溅射法制备ZrO_2薄膜的研究

论文目录
摘要	第1-4页
Abstract	第4-9页
1 绪论	第9-19页
· 课题背景及研究意义	第9页
· ZrO_2薄膜概述	第9-12页
· ZrO_2的相结构	第9-10页
· ZrO_2薄膜的性质及应用	第10-12页
· 薄膜制备技术概述	第12-18页
· 薄膜制备的化学方法	第12-13页
· 薄膜制备的物理方法	第13-16页
· ZrO_2薄膜的国内外研究现状	第16-18页
· 本课题的提出及主要研究内容	第18-19页
2 ZrO_2薄膜的制备及测试方法	第19-27页
· ZZX-1100型溅射镀膜设备简介	第19页
· 试验过程	第19-20页
· 制备ZrO_2薄膜的迟滞回线研究	第20-21页
· 薄膜的测试方法	第21-27页
· 薄膜结构的XRD测试原理	第21-22页
· 薄膜成分的XPS测试原理	第22-23页
· Talay Hobson非接触式轮廓仪测试原理	第23-24页
· 椭圆偏振光谱仪测试原理	第24-25页
· 分光光度的测试原理	第25-27页
3 正交法制备ZrO_2薄膜试验	第27-33页
· 正交试验原理及试验过程	第27-28页
· 反应磁控溅射基本工艺参数的选取	第28-30页
· 工艺因素分析	第28-29页
· 工艺参数的选取	第29-30页
· 正交试验方案	第30-31页
· 因素水平地选取	第30页
· 试验计划	第30-31页
· 试验结果及分析	第31-32页
· 本章小结	第32-33页
4 ZrO_2薄膜表面粗糙度、结构和组分的测试及分析	第33-38页
· 不同氧流量对薄膜表面粗糙度的影响分析	第33-34页
· 制备工艺参数	第33页
· 表面粗糙度的测试分析结果	第33-34页
· 不同氧流量对薄膜表面结构的影响分析	第34-35页
· 制备工艺参数	第34页
· XRD测试结果分析	第34-35页
· 薄膜XPS分析	第35-37页
· 制备工艺参数	第35页
· XPS测试方法	第35页
· XPS测试结果分析	第35-37页
· 本章小结	第37-38页
5 溅射工艺参数对ZrO_2薄膜性能的影响分析	第38-46页
· 反应气体流量对薄膜性能的影响	第38-41页
· 不同氧流量下薄膜的溅射工艺参数	第38页
· 不同氧流量对薄膜沉积速率的影响分析	第38-39页
· 不同氧流量对薄膜光学常数的影响分析	第39-40页
· 不同氧流量对薄膜透过率的影响分析	第40-41页
· 不同靶基距对薄膜性能的影响分析	第41-43页
· 不同靶基距下薄膜的制备工艺参数	第41页
· 不同靶基距对薄膜沉积速率的影响分析	第41-42页
· 不同靶基距对薄膜光学常数的影响分析	第42-43页
· 不同靶功率对薄膜性能的影响分析	第43-44页
· 不同靶功率下制备薄膜的工艺参数	第43页
· 不同靶功率对薄膜沉积速率的影响分析	第43-44页
· 不同靶功率对薄膜光学常数的影响分析	第44页
· 本章小结	第44-46页
6 ZrO_2薄膜抗激光损伤特性的研究	第46-51页
· 激光对物质的作用机理	第46页
· 薄膜抗激光损伤闽值的测试	第46-48页
· 测试方法	第46-47页
· 测试装置	第47-48页
· 损伤的判定	第48页
· ZrO_2薄膜的抗激光损伤特性分析	第48-49页
· 本章小结	第49-51页
7 结论	第51-53页
· 结论	第51页
· 对今后工作的建议	第51-53页
参考文献	第53-59页
攻读硕士学位期间发表的论文	第59-60页
致谢	第60-62页

本篇论文共62页，点击这进入下载页面。

更多论文
磁控溅射法制备ZrO_2薄膜的研究
近程高精度脉冲激光测距仪的研究
近程高精度脉冲激光测距系统的研究
类金刚石薄膜强激光作用的特性研究
纳秒脉冲泵浦光子晶体光纤产生超连
无氢类金刚石薄膜的损耗特性研究
薄膜损伤阈值测试控制系统
蒸镀薄膜的电子衍射研究
基于液晶热光效应的非电读出热探测
光电立靶虚拟试验模拟系统设计
金属/介质膜系光电特性的研究
电弧源制备氧化铝薄膜的工艺研究
基于自触发脉冲激光测距技术的研究
DNA分子亚结构及振动性质的研究
镀膜法高层大气风场探测的光电系统
堆积层滑坡机理及其稳定性研究
微型桩加固膨胀土滑坡机理研究
数控成像测井软件系统的设计与实现
选择性转移、人力资本深化与内生农
“新丝绸之路”经济带交通基础设施
供需视角下入境旅游流驱动与城市目
中国入境旅游流复杂网络的结构特征
第二次浪潮之后
我国城乡教育公开的现状与发展测评
师道与师德合一：构建教师专业伦理
西北地区县域义务教育均衡发展进程
基础教育学校变革机制研究
教师权威的困境与出路探索
一个西部县农村教师结构五十年的变
教师个体教学哲学及其建构研究
示范高中规范问题研究
基础教育课程改革中的教师信念研究
中小学课堂教学中“非期待答案”研
民办高校办学水平提升策略研究
德育动力机制研究
高师教育实践课程研究
高等职业教育学生学业评价研究
中国传统武术转型研究（1911-1949）
延安时期马克思主义大众化研究
延安时期知识分子与马克思主义大众
布宁创作的生态诗学特征
新加坡华文旧体诗研究
性别文化视域中的张恨水与金庸比较
明清戏曲与园林文化研究
曹植研究
唐代的早期教育与文学
古代诗人接受《史记》论稿
王国维《人间词话》“境界”理论的
北宋仁宗词坛研究
《左传》文学专题研究
少数民族视野下的沈从文与老舍比较
唐代俗文学研究
香港普通话教学研究新探
关中地区山东方言岛语言研究
山西文水方言的趋向动词及其语法化
国际汉语语言交际能力论
大学英语文化体验教学研究
高等学校音乐表演专业学业表现性评
美国心理战略委员会研究（1951-195
清代晋北地区土地利用及驱动因素研
唐代中期战争问题研究
商周指定服役制度研究
唐代中外艺术交流研究--以乐舞、百
《册府元龟》研究
后秦史
北宋皇宫宿卫禁军诸问题研究
清末民国时期新疆汉文化传播研究（
新疆出土佉卢文人口买卖文书及相关
中国早期铭文石刻新论
明初朱子学研究
王安石政治哲学研究
王弼、朱熹《周易》注释比较研究
《淮南子》的哲学思想
约翰·罗默的平等主义：从逻辑推演
词语和格式塔客体对基于客体注意的

磁控溅射论文 ZrO_2薄膜论文光学特性论文抗激光损伤阈值论文
版权申明：目录由用户cxyga**提供，www.51papers.com仅收录目录，作者需要删除这篇论文目录请点击这里。
\| 设为首页\|\|加入收藏\|\|站内搜索引擎\|\|站点地图\|\|在线购卡\|
版权所有教育论文网 Copyright(C) All Rights Reserved