PZT薄膜的改性研究及其在微执行器中的应用



PZT薄膜的改性研究及其在微执行器中的应用

分类1：教育论文网→工业技术论文→一般工业技术论文→工程材料学论文→特种结构材料论文
分类2：教育论文网→工业技术论文→机械、仪表工业论文→机械仪表工业研究方法、工作方法论文→机电一体化论文

PZT薄膜的改性研究及其在微执行器中的应用

论文目录
摘要	第1-5页
Abstract	第5-9页
1 绪论	第9-22页
1.1 PZT薄膜的发展过程及其应用	第9-12页
1.1.1 PZT薄膜的发展过程	第9页
1.1.2 PZT薄膜的应用	第9-12页
1.2 PZT材料的结构与性质	第12-16页
1.3 PZT薄膜的研究进展	第16-20页
1.3.1 PZT薄膜的制备方法	第16-18页
1.3.2 PZT薄膜的研究进展	第18-20页
1.4 论文的研究意义和研究内容	第20-22页
2 PZT薄膜的制备与表征方法	第22-32页
2.1 PZT薄膜的制备过程	第22-25页
2.1.1 PZT前驱体溶液的配制	第22-24页
2.1.2 PZT溶液的旋涂方法	第24页
2.1.3 PZT薄膜的热处理过程	第24-25页
2.2 PZT薄膜的结晶过程和择优取向生长机理	第25-26页
2.2.1 PZT薄膜的结晶过程	第25页
2.2.2 PZT择优取向生长机理	第25-26页
2.3 PZT薄膜的表征方法	第26-30页
2.3.1 PZT薄膜厚度的表征方法	第26-27页
2.3.2 PZT薄膜晶向的表征方法	第27-28页
2.3.3 PZT薄膜微观形貌的表征方法	第28页
2.3.4 PZT薄膜介电性能的表征方法	第28-29页
2.3.5 PZT薄膜铁电和抗疲劳性能的表征方法	第29-30页
2.3.6 PZT薄膜振动性能的表征方法	第30页
2.4 本章小结	第30-32页
3 缓冲层工艺对PZT薄膜生长的影响	第32-44页
3.1 PbTiO3缓冲层对PZT薄膜生长的影响	第32-36页
3.1.1 PbTiO3缓冲层的制备	第32-33页
3.1.2 PbTiO3缓冲层对PZT薄膜晶向和微观结构的影响	第33-34页
3.1.3 PbTiO3缓冲层对PZT薄膜介电和铁电性能的影响	第34-36页
3.2 PZT缓冲层对PZT薄膜生长的影响	第36-43页
3.2.1 PZT缓冲层的制备	第36页
3.2.2 PZT缓冲层对PZT薄膜晶向的影响	第36-38页
3.2.3 PZT缓冲层对PZT薄膜微观结构的影响	第38-40页
3.2.4 PZT缓冲层对PZT薄膜介电性能的影响	第40-41页
3.2.5 PZT缓冲层对PZT薄膜铁电和抗疲劳性能的影响	第41-43页
3.3 本章小结	第43-44页
4 掺杂PZT薄膜的制备和表征	第44-64页
4.1 掺杂PZT概述	第44-45页
4.2 PZTNb薄膜的制备和表征	第45-51页
4.2.1 PZTNb薄膜的晶向表征	第45-47页
4.2.2 PZTNb薄膜的微观结构表征	第47-48页
4.2.3 PZTNb薄膜的介电性能表征	第48-49页
4.2.4 PZTNb薄膜的铁电和抗疲劳性能表征	第49-51页
4.3 PZTNd薄膜的制备和表征	第51-61页
4.3.1 PZTNd薄膜的晶向表征	第52-54页
4.3.2 PZTNd薄膜的微观结构表征	第54-57页
4.3.3 PZTNd薄膜的介电性能表征	第57-59页
4.3.4 PZTNd薄膜的铁电和抗疲劳性能表征	第59-61页
4.4 掺杂改性机理分析	第61-62页
4.5 本章小结	第62-64页
5 压电微执行器的制作及其特性检测	第64-70页
5.1 压电微执行器的制作	第64-65页
5.2 压电微执行器的振动性能测试	第65-67页
5.3 喷墨测试	第67-69页
5.4 本章小结	第69-70页
结论	第70-72页
参考文献	第72-77页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况	第77-78页
致谢	第78-79页

本篇论文共79页，点击这进入下载页面。

更多论文
PZT薄膜的改性研究及其在微执行器中
侧基调控聚醚酰亚胺气体渗透性能的
相变波转子增压特性及在制冷热泵系
居民海岛生态脆弱性仿真分析与管理
耐酸型CO低温氧化催化剂Au-M@C纳米
高稳定性贵金属纳米复合材料制备与
结构半解析灵敏度改进算法及SiPESC
海洋粘接性管道结构设计及水动力分
含水合物非均质多孔介质渗流特性模
乙醇偶合制备丁醇及C₄烯
芳香族聚酰胺耐溶剂纳滤膜的制备及
酰胺键键连的系列聚四苯基卟啉的合
熔融沉积增材制造ABS材料本构模型研
同轴纺丝设计核壳结构SPEEK纤维及其
分布浮力式海底管道的体系可靠度分
基于RHT的车道标线检测方法研究
考虑可制造性的旋转动静压密封环设
液滴撞击热固体表面动态特性实验研
乌拉满族剪刻纸艺术传承与发展研究
碳钢化学镀镍磷腐蚀规律及其封孔工
道路交通事故及其严重程度影响因素
聚酰亚胺衬底上低温生长GaN薄膜研究
基于HomePlug的数字广播控制器硬件
炼油生产过程能效评估诊断及优化的
基于强度折减法的节理岩体硐室破坏
LNG船独立C型液罐传热与蒸发率研究
厚度效应对三维裂纹前缘塑性区尺寸
导管架海洋平台结构疲劳可靠性分析
覆冰悬索管道桥静气动力特性试验研
地震载荷作用下长跨隧道相关动力学
基于能量模糊的风洞支杆模型振动控
智能化质谱联用仪虚拟实验室的初步
基于PKPCA和逻辑回归模型的滚动轴承
整体式多路阀数字化成型工艺研究
镍基合金TG700A服役条件下的组织演
喷丸处理Ti-6Al-4V合金残余应力场特
工具摇动对超声波加工微孔深径比及
二维蜂窝微桁架周期结构的振动传播
基于延迟荧光染料的荧光纳米粒子的
梯度点阵结构几何多尺度优化研究
挤压造粒机机筒传热及温度控制研究
整体式酚醛树脂基锂离子筛的制备及
倒装芯片无铅凸点β-Sn晶粒扩散速率
时间分辨荧光-磁共振双模式次氯酸生
Addition-Min算子模糊关系约束优化
一种非协调金字塔元
船型参数对参数横摇薄弱性的影响分
一种基于多特征融合的长非编码RNA预
船舶外板喷涂机器人雾化仿真及漆雾
AZ系铸造—变形异种镁合金焊接组织
考虑材料不确定性的微结构鲁棒性设
聚乳酸-脂肪族聚酯-聚乳酸三嵌段聚
Si-Al合金中初晶硅与共晶组织分离调
金属取代Keggin型多酸杂化二聚体的
聚醚醚酮物理老化行为研究
复杂网络中关键节点查找和链路预测
为代驾司机服务的小型灵活公交的站
近自由表面升力线理论研究
行星齿轮箱故障表征与诊断方法研究
水下管线自动跟踪式ROV的设计及研究
单点系泊海洋结构物的碰撞外部动力
飞机EMA/EHA作动器的多学科协同设计
水稳MOFs基复合物的构筑及对氨基酸
复合材料蜂窝夹层板的振动特性研究

PZT薄膜论文溶胶凝胶法论文缓冲层论文掺杂改性论文微执行器论文
版权申明：目录由用户xiaobai2**提供，www.51papers.com仅收录目录，作者需要删除这篇论文目录请点击这里。
\| 设为首页\|\|加入收藏\|\|站内搜索引擎\|\|站点地图\|\|在线购卡\|
版权所有教育论文网 Copyright(C) All Rights Reserved