Zr-Cu非晶合金薄膜的制备与研究



Zr-Cu非晶合金薄膜的制备与研究

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Zr-Cu非晶合金薄膜的制备与研究

论文目录
摘要	第1-6页
Abstract	第6-10页
第1章绪论	第10-20页
· 薄膜的简介	第10-11页
· 非晶合金的研究发展	第11-13页
· 非晶形成机制	第13-14页
· 薄膜的物理制备方法	第14-16页
· 磁控溅射法制备薄膜	第16-17页
· 薄膜的生长方式	第17-19页
· 岛状生长模式	第18-19页
· 层状生长模式	第19页
· 层岛结合生长模式	第19页
· 本文主要研究内容	第19-20页
第2章实验方法及设备	第20-26页
· 实验材料及方法	第20-21页
· 实验材料	第20页
· 实验流程	第20-21页
· 主要实验设备及简介	第21-26页
· 磁控溅射仪	第21-22页
· X 衍射分析	第22页
· 台阶仪实验	第22-23页
· SEM 观察及 EDS 能谱分析	第23页
· 纳米压痕技术	第23-24页
· CSM 划痕试验	第24-26页
第3章薄膜的制备工艺及结构研究	第26-48页
· 薄膜的沉积速率影响因素	第26-36页
· 靶基距对沉积速率的影响	第26-29页
· 溅射气压对溅射速率的影响	第29-32页
· 溅射时间对沉积速率的影响	第32-33页
· 溅射功率对沉积速率的影响	第33-36页
· 薄膜成分的验证	第36-38页
· Zr-Cu 薄膜结构的研究	第38-46页
· 组元成分对 Zr-Cu 薄膜表面形貌以及结构的影响	第38-41页
· 溅射时间对 Zr-Cu 薄膜表面形貌以及结构的影响	第41-43页
· 溅射气压对 Zr-Cu 薄膜表面形貌以及结构的影响	第43-45页
· 基片对薄膜结构的影响	第45-46页
· 本章小结	第46-48页
第4章薄膜的力学性能	第48-55页
· 非晶薄膜的纳米硬度和弹性模量	第48-50页
· 基片温度对纳米硬度及弹性模量的影响	第48-49页
· 溅射功率对纳米硬度及弹性模量的影响	第49-50页
· 非晶薄膜的附着力	第50-54页
· 溅射气压对薄膜附着力的影响	第51-52页
· 溅射功率对薄膜附着力的影响	第52-53页
· 基片温度对薄膜附着力的影响	第53-54页
· 本章小结	第54-55页
结论	第55-56页
参考文献	第56-61页
攻读硕士学位期间承担的科研任务与主要成果	第61-62页
致谢	第62-63页
作者简介	第63 页

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