AlGaN/GaN异质结的C-V特性研究—硕士毕业论文下载



AlGaN/GaN异质结的C-V特性研究

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AlGaN/GaN异质结的C-V特性研究

论文目录
摘要	第1-5页
Abstract	第5-9页
第1章绪论	第9-12页
· GaN 在光学和电学设备上的应用	第9-10页
· 本论文研究意义	第10-11页
· 本论文的内容	第11-12页
第2章实验仪器及测试原理	第12-21页
· MOCVD 简介	第12-16页
· AlGaN-MOCVD 气路介绍	第12-14页
· 金属有机气相沉积原理	第14-16页
· 结构测试仪器	第16-18页
· 金相显微镜	第16-17页
· 原子力显微镜(AFM)	第17页
· 分辨率X 光衍射仪(HR-XRD)	第17-18页
· 电学测试仪器	第18-20页
· 霍尔(Hall)测试系统	第19页
· 电容-电压(C-V)测试	第19-20页
· 本章小结	第20-21页
第3章 AlGaN/GaN 异质结生长背景和AlGaN/GaN间2DEG产生机理	第21-30页
· 外延生长	第21-22页
· GaN 材料的选择	第22页
· 衬底的选择	第22-23页
· Si 衬底上生长AlGaN/GaN 异质结的难点	第23-24页
· Si 衬底上GaN 外延层的两步生长法	第24-26页
· Si 衬底上铺Al	第24-25页
· 缓冲层的生长	第25-26页
· 高温GaN 的生长	第26页
· 二维电子气的产生	第26-28页
· 极化对二维电子气的影响	第28-29页
· 本章小结	第29-30页
第4章 Si 衬底上生长GaN 外延层	第30-40页
· 低温AlN(LT-AlN)缓冲层生长方案	第32-34页
· 高温AlN(HT-AlN)缓冲层生长方案	第34-37页
· 多次 LT-AlN 插入生长大厚度的 GaN 外延层	第37-39页
· 本章小结	第39-40页
第5章蓝宝石上生长 AlGaN/GaN 异质结的 C-V 特性	第40-47页
· AlGaN/GaN 异质结的生长	第40页
· 实验过程	第40-41页
· 结果与讨论	第41-46页
· XRD 测试结果	第41-42页
· C-V 测试结果	第42-46页
· 本章小结	第46-47页
第6章结论	第47-49页
· 本论文工作总结	第47页
· 实验展望	第47-49页
参考文献	第49-52页
致谢	第52-53页
攻读学位期间发表论文	第53 页

本篇论文共53页，点击这进入下载页面。

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