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碳氮化物薄膜的环境摩擦学特性研究

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碳氮化物薄膜的环境摩擦学特性研究
论文目录
 
摘要第1-5 页
Abstract第5-14 页
第一章 绪论第14-24 页
  · 研究背景第14 页
  · 薄膜制备技术、物理气相沉积技术(PVD)及应用第14-15 页
    · 物理气相沉积(PVD)第14-15 页
    · PVD 碳氮化物薄膜的研究现状及基本应用第15 页
  · 常用PVD 碳氮化物薄膜的制备及特点第15-18 页
    · 非晶氮化碳薄膜的特点第15-16 页
    · 氮化铬薄膜的制备及特点第16-17 页
    · 氮铝化钛薄膜的制备及特点第17 页
    · 碳氮化钛薄膜的制备及特点第17-18 页
  · 常用PVD 碳氮化物薄膜摩擦学研究现状第18-22 页
    · 非晶氮化碳薄膜摩擦学研究现状第18-19 页
    · 氮化铬薄膜的制备及摩擦学研究现状第19-20 页
    · 氮铝化钛薄膜的制备及摩擦学研究现状第20-21 页
    · 碳氮化钛薄膜的制备及摩擦学研究现状第21-22 页
  · 本文的研究意义及主要内容第22-24 页
    · 本文的研究意义第22-23 页
    · 本文的主要研究内容第23-24 页
第二章 试验方法第24-32 页
  · 薄膜的制备方法及对磨球的准备第24-26 页
    · 式样及靶材的材料第24 页
    · a-CN_x 薄膜制备第24-25 页
    · CrN、TiAlN、TiCN 薄膜制备第25-26 页
    · SiC、SUJ2、SUS440C 球及CrN、TiAlN、TiCN 薄膜参数第26 页
  · 碳氮化物薄膜的表征第26-28 页
    · X-射线衍射仪器(X-ray diffraction,XRD)第27 页
    · 电子扫描显微镜(scanning electronic microscope)第27-28 页
    · 表面粗糙度、硬度及弹性模量的表征第28 页
  · 摩擦磨损试验第28-31 页
    · 摩擦磨损试验的环境条件及试验参数第28-29 页
    · 对磨球磨痕的形貌表征及磨损体积的测量第29-30 页
    · 碳氮化物薄膜磨痕的形貌表征及磨损体积的测量第30-31 页
  · 本章小结第31-32 页
第三章 a-CN_x薄膜在冷却液中摩擦学特性的研究第32-47 页
  · 引言第32 页
  · a-CN_x 薄膜的表面形貌、粗糙度及力学性能第32-33 页
  · 加载载荷对a-CN_x 薄膜摩擦磨损特性的影响第33-39 页
    · 不同载荷下a-CN_x 薄膜的醇类水润滑摩擦行为第33-34 页
    · 不同载荷下a-CN_x 薄膜的平均稳态摩擦系数第34 页
    · 不同载荷下a-CN_x 薄膜和对磨SiC 球的磨损率第34-35 页
    · 不同载荷下a-CN_x 薄膜磨痕的三维形貌、截面形貌及对磨球磨痕第35-39 页
  · 对磨速度对a-CN_x 薄膜摩擦磨损特性的影响第39-44 页
    · 不同速度下a-CN_x 薄膜的醇类水润滑摩擦行为第39 页
    · 不同速度下a-CN_x 薄膜的平均稳态摩擦系数第39-40 页
    · 不同速度下a-CN_x 薄膜和对磨SiC 球的磨损率第40-41 页
    · 不同速度下a-CN_x 薄膜磨痕的三维形貌、截面形貌及对磨球的磨痕第41-44 页
    · a-CN_x 薄膜在乙醇和乙二醇水溶液中的Stribeck 曲线第44 页
  · 分析及讨论第44-45 页
  · 本章小结第45-47 页
第四章 润滑环境对TiCN 薄膜摩擦学性能的影响以及 TiCN 薄膜在水润滑中的摩擦学特性研究第47-60 页
  · 引言第47 页
  · TiCN 薄膜结构表征第47-48 页
    · TiCN 薄膜的X-射线衍射(XRD)及粗糙度第47 页
    · TiCN 薄膜的电子扫描显微镜及X-射线能谱分析第47-48 页
  · 大气以及水环境下TiCN 薄膜摩擦学性能研究第48-51 页
    · 大气及水润滑下TiCN 薄膜的摩擦行为第48-49 页
    · 大气及水润滑下TiCN 薄膜的平均稳态摩擦系数第49-50 页
    · 大气及水润滑下对磨SiC 球的磨损率第50 页
    · 大气环境下SiC 球及TiCN 薄膜磨痕的光学照片第50-51 页
  · 摩擦参数对TiCN 薄膜水润滑摩擦学性能研究第51-53 页
    · 不同载荷不同速度下TiCN 薄膜的水润滑摩擦行为第51-52 页
    · 不同载荷不同速度下TiCN 薄膜的平均稳态摩擦系数第52 页
    · 不同载荷不同速度下TiCN 薄膜及SiC 球的磨损率第52-53 页
  · TiCN 薄膜磨痕的三维形貌、截面形貌及球磨痕第53-56 页
    · 不同载荷下SiC 球和TiCN 薄膜磨痕的形貌第53-54 页
    · 不同载荷下SiC 球磨损直径及TiCN 薄膜磨痕深度的变化第54-55 页
    · 不同速度下SiC 球和TiCN 薄膜磨痕的形貌第55-56 页
    · 不同速度下SiC 球磨损直径及TiCN 薄膜磨痕深度的变化第56 页
  · 分析及讨论第56-59 页
  · 本章小结第59-60 页
第五章 氮化铬薄膜在水润滑中的摩擦学特性研究第60-69 页
  · 引言第60 页
  · CrN 薄膜结构表征第60-61 页
    · CrN 薄膜的X-射线衍射(XRD) 分析及粗糙度第60 页
    · CrN 薄膜的电子扫描显微镜及X-射线能谱分析第60-61 页
  · 摩擦参数对CrN 薄膜水润滑性能的影响第61-63 页
    · 不同载荷不同速度下CrN 薄膜水润滑摩擦行为第61-62 页
    · 不同载荷不同速度下CrN 薄膜的平均稳态摩擦系数第62 页
    · 不同载荷不同速度下CrN 薄膜及SiC 球的磨损率第62-63 页
  · CrN 薄膜磨痕的三维形貌、截面形貌及球磨痕第63-66 页
    · 不同载荷下SiC 球和CrN 薄膜磨痕的形貌第63-64 页
    · 不同载荷下SiC 球磨损直径及CrN 薄膜磨痕深度的变化第64 页
    · 不同速度下CrN 薄膜的三维形貌及截面形貌第64-65 页
    · 不同速度下SiC 球磨损直径及CrN 薄膜磨痕深度的变化第65-66 页
  · 分析及讨论第66-68 页
  · 本章小结第68-69 页
第六章 氮铝化钛薄膜在水润滑中的摩擦学特性研究第69-78 页
  · 引言第69 页
  · TiAlN 薄膜结构表征第69-70 页
    · TiAlN 薄膜的X-射线衍射(XRD)分析及粗糙度第69 页
    · TiAlN 薄膜的电子扫描显微镜及X-射线能谱分析第69-70 页
  · 摩擦参数对TiAlN 薄膜水润滑性能的影响第70-72 页
    · 不同载荷不同速度下TiAlN 薄膜水润滑摩擦行为第70-71 页
    · 不同载荷不同速度下TiAlN 薄膜的平均稳态摩擦系数第71 页
    · 不同载荷不同速度下TiAlN 薄膜及SiC 球的磨损率第71-72 页
  · TiAlN 薄膜磨痕的三维形貌、截面形貌及球磨痕第72-74 页
    · 不同载荷下SiC 球和TiAlN 薄膜磨痕的形貌第72-73 页
    · 不同载荷下SiC 球磨损直径及TiAlN 薄膜磨痕深度的变化第73 页
    · 不同速度下TiAlN 薄膜的三维形貌及截面形貌第73-74 页
    · 不同速度下SiC 球磨损直径及TiAlN 薄膜磨痕深度的变化第74 页
  · 分析及讨论第74-76 页
  · 本章小结第76-78 页
第七章 不同对磨球对 CrN、TiAlN、TiCN 薄膜摩擦学性能的影响第78-87 页
  · 不同对磨球下CrN 薄膜的摩擦学特性第78-80 页
    · 不同对磨球下CrN 薄膜的摩擦行为第78 页
    · 不同对磨球下CrN 薄膜磨痕的电子扫描照片及EDS 分析第78-79 页
    · 不同对磨球及CrN 薄膜磨痕的光学照片第79-80 页
  · 不同对磨球下TiAlN 薄膜的摩擦学特性第80-82 页
    · 不同对磨球下TiAlN 薄膜的摩擦行为第80 页
    · 不同对磨球下TiAlN 薄膜的电子扫描照片及EDS 分析第80-81 页
    · 不同对磨球及TiAlN 薄膜磨痕的光学照片第81-82 页
  · 不同对磨球下TiCN 薄膜的摩擦学特性第82-84 页
    · 不同对磨球下TiCN 薄膜的摩擦行为第82 页
    · 不同对磨球下TiCN 薄膜的电子扫描照片及EDS 分析第82-83 页
    · 不同对磨球及TiCN 薄膜磨痕的光学照片第83-84 页
  · 不同对磨球下CrN、TiAlN、TiCN 薄膜的平均稳态摩擦系数第84-85 页
  · 不同对磨球的磨损率第85 页
  · 分析及讨论第85-86 页
  · 本章小结第86-87 页
第八章 总结与展望第87-89 页
  · 本文的主要工作及结果第87-88 页
  · 展望第88-89 页
参考文献第89-92 页
致谢第92-93 页
在校期间的研究成果及发表的学术论文第93 页

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