论文目录 | |
摘要 | 第1-5
页 |
Abstract | 第5-14
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第一章 绪论 | 第14-24
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· 研究背景 | 第14
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· 薄膜制备技术、物理气相沉积技术(PVD)及应用 | 第14-15
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· 物理气相沉积(PVD) | 第14-15
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· PVD 碳氮化物薄膜的研究现状及基本应用 | 第15
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· 常用PVD 碳氮化物薄膜的制备及特点 | 第15-18
页 |
· 非晶氮化碳薄膜的特点 | 第15-16
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· 氮化铬薄膜的制备及特点 | 第16-17
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· 氮铝化钛薄膜的制备及特点 | 第17
页 |
· 碳氮化钛薄膜的制备及特点 | 第17-18
页 |
· 常用PVD 碳氮化物薄膜摩擦学研究现状 | 第18-22
页 |
· 非晶氮化碳薄膜摩擦学研究现状 | 第18-19
页 |
· 氮化铬薄膜的制备及摩擦学研究现状 | 第19-20
页 |
· 氮铝化钛薄膜的制备及摩擦学研究现状 | 第20-21
页 |
· 碳氮化钛薄膜的制备及摩擦学研究现状 | 第21-22
页 |
· 本文的研究意义及主要内容 | 第22-24
页 |
· 本文的研究意义 | 第22-23
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· 本文的主要研究内容 | 第23-24
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第二章 试验方法 | 第24-32
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· 薄膜的制备方法及对磨球的准备 | 第24-26
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· 式样及靶材的材料 | 第24
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· a-CN_x 薄膜制备 | 第24-25
页 |
· CrN、TiAlN、TiCN 薄膜制备 | 第25-26
页 |
· SiC、SUJ2、SUS440C 球及CrN、TiAlN、TiCN 薄膜参数 | 第26
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· 碳氮化物薄膜的表征 | 第26-28
页 |
· X-射线衍射仪器(X-ray diffraction,XRD) | 第27
页 |
· 电子扫描显微镜(scanning electronic microscope) | 第27-28
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· 表面粗糙度、硬度及弹性模量的表征 | 第28
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· 摩擦磨损试验 | 第28-31
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· 摩擦磨损试验的环境条件及试验参数 | 第28-29
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· 对磨球磨痕的形貌表征及磨损体积的测量 | 第29-30
页 |
· 碳氮化物薄膜磨痕的形貌表征及磨损体积的测量 | 第30-31
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· 本章小结 | 第31-32
页 |
第三章 a-CN_x薄膜在冷却液中摩擦学特性的研究 | 第32-47
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· 引言 | 第32
页 |
· a-CN_x 薄膜的表面形貌、粗糙度及力学性能 | 第32-33
页 |
· 加载载荷对a-CN_x 薄膜摩擦磨损特性的影响 | 第33-39
页 |
· 不同载荷下a-CN_x 薄膜的醇类水润滑摩擦行为 | 第33-34
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· 不同载荷下a-CN_x 薄膜的平均稳态摩擦系数 | 第34
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· 不同载荷下a-CN_x 薄膜和对磨SiC 球的磨损率 | 第34-35
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· 不同载荷下a-CN_x 薄膜磨痕的三维形貌、截面形貌及对磨球磨痕 | 第35-39
页 |
· 对磨速度对a-CN_x 薄膜摩擦磨损特性的影响 | 第39-44
页 |
· 不同速度下a-CN_x 薄膜的醇类水润滑摩擦行为 | 第39
页 |
· 不同速度下a-CN_x 薄膜的平均稳态摩擦系数 | 第39-40
页 |
· 不同速度下a-CN_x 薄膜和对磨SiC 球的磨损率 | 第40-41
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· 不同速度下a-CN_x 薄膜磨痕的三维形貌、截面形貌及对磨球的磨痕 | 第41-44
页 |
· a-CN_x 薄膜在乙醇和乙二醇水溶液中的Stribeck 曲线 | 第44
页 |
· 分析及讨论 | 第44-45
页 |
· 本章小结 | 第45-47
页 |
第四章 润滑环境对TiCN 薄膜摩擦学性能的影响以及 TiCN 薄膜在水润滑中的摩擦学特性研究 | 第47-60
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· 引言 | 第47
页 |
· TiCN 薄膜结构表征 | 第47-48
页 |
· TiCN 薄膜的X-射线衍射(XRD)及粗糙度 | 第47
页 |
· TiCN 薄膜的电子扫描显微镜及X-射线能谱分析 | 第47-48
页 |
· 大气以及水环境下TiCN 薄膜摩擦学性能研究 | 第48-51
页 |
· 大气及水润滑下TiCN 薄膜的摩擦行为 | 第48-49
页 |
· 大气及水润滑下TiCN 薄膜的平均稳态摩擦系数 | 第49-50
页 |
· 大气及水润滑下对磨SiC 球的磨损率 | 第50
页 |
· 大气环境下SiC 球及TiCN 薄膜磨痕的光学照片 | 第50-51
页 |
· 摩擦参数对TiCN 薄膜水润滑摩擦学性能研究 | 第51-53
页 |
· 不同载荷不同速度下TiCN 薄膜的水润滑摩擦行为 | 第51-52
页 |
· 不同载荷不同速度下TiCN 薄膜的平均稳态摩擦系数 | 第52
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· 不同载荷不同速度下TiCN 薄膜及SiC 球的磨损率 | 第52-53
页 |
· TiCN 薄膜磨痕的三维形貌、截面形貌及球磨痕 | 第53-56
页 |
· 不同载荷下SiC 球和TiCN 薄膜磨痕的形貌 | 第53-54
页 |
· 不同载荷下SiC 球磨损直径及TiCN 薄膜磨痕深度的变化 | 第54-55
页 |
· 不同速度下SiC 球和TiCN 薄膜磨痕的形貌 | 第55-56
页 |
· 不同速度下SiC 球磨损直径及TiCN 薄膜磨痕深度的变化 | 第56
页 |
· 分析及讨论 | 第56-59
页 |
· 本章小结 | 第59-60
页 |
第五章 氮化铬薄膜在水润滑中的摩擦学特性研究 | 第60-69
页 |
· 引言 | 第60
页 |
· CrN 薄膜结构表征 | 第60-61
页 |
· CrN 薄膜的X-射线衍射(XRD) 分析及粗糙度 | 第60
页 |
· CrN 薄膜的电子扫描显微镜及X-射线能谱分析 | 第60-61
页 |
· 摩擦参数对CrN 薄膜水润滑性能的影响 | 第61-63
页 |
· 不同载荷不同速度下CrN 薄膜水润滑摩擦行为 | 第61-62
页 |
· 不同载荷不同速度下CrN 薄膜的平均稳态摩擦系数 | 第62
页 |
· 不同载荷不同速度下CrN 薄膜及SiC 球的磨损率 | 第62-63
页 |
· CrN 薄膜磨痕的三维形貌、截面形貌及球磨痕 | 第63-66
页 |
· 不同载荷下SiC 球和CrN 薄膜磨痕的形貌 | 第63-64
页 |
· 不同载荷下SiC 球磨损直径及CrN 薄膜磨痕深度的变化 | 第64
页 |
· 不同速度下CrN 薄膜的三维形貌及截面形貌 | 第64-65
页 |
· 不同速度下SiC 球磨损直径及CrN 薄膜磨痕深度的变化 | 第65-66
页 |
· 分析及讨论 | 第66-68
页 |
· 本章小结 | 第68-69
页 |
第六章 氮铝化钛薄膜在水润滑中的摩擦学特性研究 | 第69-78
页 |
· 引言 | 第69
页 |
· TiAlN 薄膜结构表征 | 第69-70
页 |
· TiAlN 薄膜的X-射线衍射(XRD)分析及粗糙度 | 第69
页 |
· TiAlN 薄膜的电子扫描显微镜及X-射线能谱分析 | 第69-70
页 |
· 摩擦参数对TiAlN 薄膜水润滑性能的影响 | 第70-72
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· 不同载荷不同速度下TiAlN 薄膜水润滑摩擦行为 | 第70-71
页 |
· 不同载荷不同速度下TiAlN 薄膜的平均稳态摩擦系数 | 第71
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· 不同载荷不同速度下TiAlN 薄膜及SiC 球的磨损率 | 第71-72
页 |
· TiAlN 薄膜磨痕的三维形貌、截面形貌及球磨痕 | 第72-74
页 |
· 不同载荷下SiC 球和TiAlN 薄膜磨痕的形貌 | 第72-73
页 |
· 不同载荷下SiC 球磨损直径及TiAlN 薄膜磨痕深度的变化 | 第73
页 |
· 不同速度下TiAlN 薄膜的三维形貌及截面形貌 | 第73-74
页 |
· 不同速度下SiC 球磨损直径及TiAlN 薄膜磨痕深度的变化 | 第74
页 |
· 分析及讨论 | 第74-76
页 |
· 本章小结 | 第76-78
页 |
第七章 不同对磨球对 CrN、TiAlN、TiCN 薄膜摩擦学性能的影响 | 第78-87
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· 不同对磨球下CrN 薄膜的摩擦学特性 | 第78-80
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· 不同对磨球下CrN 薄膜的摩擦行为 | 第78
页 |
· 不同对磨球下CrN 薄膜磨痕的电子扫描照片及EDS 分析 | 第78-79
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· 不同对磨球及CrN 薄膜磨痕的光学照片 | 第79-80
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· 不同对磨球下TiAlN 薄膜的摩擦学特性 | 第80-82
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· 不同对磨球下TiAlN 薄膜的摩擦行为 | 第80
页 |
· 不同对磨球下TiAlN 薄膜的电子扫描照片及EDS 分析 | 第80-81
页 |
· 不同对磨球及TiAlN 薄膜磨痕的光学照片 | 第81-82
页 |
· 不同对磨球下TiCN 薄膜的摩擦学特性 | 第82-84
页 |
· 不同对磨球下TiCN 薄膜的摩擦行为 | 第82
页 |
· 不同对磨球下TiCN 薄膜的电子扫描照片及EDS 分析 | 第82-83
页 |
· 不同对磨球及TiCN 薄膜磨痕的光学照片 | 第83-84
页 |
· 不同对磨球下CrN、TiAlN、TiCN 薄膜的平均稳态摩擦系数 | 第84-85
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· 不同对磨球的磨损率 | 第85
页 |
· 分析及讨论 | 第85-86
页 |
· 本章小结 | 第86-87
页 |
第八章 总结与展望 | 第87-89
页 |
· 本文的主要工作及结果 | 第87-88
页 |
· 展望 | 第88-89
页 |
参考文献 | 第89-92
页 |
致谢 | 第92-93
页 |
在校期间的研究成果及发表的学术论文 | 第93
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