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水性丙烯酸光致抗蚀干膜的合成

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水性丙烯酸光致抗蚀干膜的合成
论文目录
 
摘要第1-6页
ABSTRACT第6-12页
第一章 绪论第12-28页
  · 引言第12-13页
  · 紫外光固化涂料的发展现状与趋势第13-14页
    · 发展现状第13页
    · 发展趋势第13-14页
  · 紫外光固化反应机理第14-16页
  · 紫外光固化涂料研究进展第16-22页
    · 感光树脂的研究进展第16-19页
    · 光引发剂的研究进展第19-21页
    · 活性稀释剂(活性单体)的研究进展第21-22页
  · 光致抗蚀干膜的基本组成第22-26页
    · 感光树脂第23-24页
    · 活性单体第24-25页
    · 光引发剂第25-26页
  · 本课题研究意义、内容及创新点第26-28页
    · 课题的研究意义第26页
    · 本课题的研究内容第26-27页
    · 本课题的创新点第27-28页
第二章 水溶性丙烯酸酯感光树脂的合成与结构表征第28-56页
  · 前言第28页
  · 丙烯酸树脂合成反应动力学第28-30页
    · 三元共聚原理第28-29页
    · 共聚物组成的估算第29-30页
  · 实验部分第30-34页
    · 原料与试剂第30-31页
    · 设备与仪器第31页
    · 合成路线第31-32页
    · 合成步骤第32页
    · 测试表征第32-34页
  · 结果与讨论第34-51页
    · 丙烯酸树脂合成基本配方及工艺条件的确定第34-39页
    · 引发剂用量对树脂的影响第39-41页
    · 单体投料比对树脂的影响第41-45页
    · HEMA 对树脂的影响第45-48页
    · 正交实验第48-51页
  · 结构与表征第51-54页
    · 红外光谱分析第51-52页
    · GPC 测试分析第52-53页
    · 热重分析第53-54页
  · 本章小结第54-56页
第三章 环氧丙烯酸酯类感光树脂的合成与结构表征第56-71页
  · 前言第56页
  · 实验部分第56-60页
    · 实验装置第56-57页
    · 实验原理第57页
    · 合成步骤第57-58页
    · 测试表征第58-60页
  · EA 合成工艺条件的确定第60-63页
    · 温度对反应的影响第60页
    · 催化剂种类对反应的影响第60-61页
    · 催化剂用量对反应的影响第61-62页
    · 投料配比对反应的影响第62-63页
    · 溶剂对反应的影响第63页
  · EB 合成工艺条件的确定第63-68页
    · 反应温度对MA 转化率的影响第63-64页
    · 催化剂种类对MA 转化率的影响第64-65页
    · 催化剂用量对MA 转化率的影响第65页
    · MA 用量对EB 水溶性的影响第65-66页
    · MA 对 UV 固化膜性能的影响第66-68页
  · 结构与表征第68-70页
    · 红外光谱分析第68-69页
    · TG 热重分析第69-70页
  · 本章小结第70-71页
第四章 UV 光致抗蚀干膜的合成第71-92页
  · 前言第71页
  · 实验部分第71-75页
    · 实验原理第71-72页
    · 实验原料第72页
    · 实验仪器第72-73页
    · 测试表征第73-75页
  · 结果与分析第75-89页
    · 光引发剂对固化速率的影响第75-77页
    · 活性单体含量对固化速率的影响第77-78页
    · 光引发剂对凝胶含量的影响第78-80页
    · 活性单体对凝胶含量的影响第80-81页
    · 涂层厚度对凝胶含量的影响第81-82页
    · 光引发剂对固化膜Na_2C0_3 水溶液溶解性的影响第82-84页
    · 活性单体对固化膜Na_2C0_3 水溶液溶解性的影响第84-85页
    · 光引发剂对固化膜摆杆硬度的影响第85-87页
    · 活性单体对固化膜摆杆硬度的影响第87-88页
    · 耐酸碱性测试第88-89页
  · 结构与表征第89-91页
    · 红外光谱分析第89页
    · GPC 分析第89-90页
    · 热重分析第90-91页
  · 本章小结第91-92页
结论第92-94页
参考文献第94-99页
攻读硕士学位期间取得的研究成果第99-100页
致谢第100-101页
附件第101页

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