水性丙烯酸光致抗蚀干膜的合成
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水性丙烯酸光致抗蚀干膜的合成
论文目录
摘要
第1-6页
ABSTRACT
第6-12页
第一章 绪论
第12-28页
· 引言
第12-13页
· 紫外光固化涂料的发展现状与趋势
第13-14页
· 发展现状
第13页
· 发展趋势
第13-14页
· 紫外光固化反应机理
第14-16页
· 紫外光固化涂料研究进展
第16-22页
· 感光树脂的研究进展
第16-19页
· 光引发剂的研究进展
第19-21页
· 活性稀释剂(活性单体)的研究进展
第21-22页
· 光致抗蚀干膜的基本组成
第22-26页
· 感光树脂
第23-24页
· 活性单体
第24-25页
· 光引发剂
第25-26页
· 本课题研究意义、内容及创新点
第26-28页
· 课题的研究意义
第26页
· 本课题的研究内容
第26-27页
· 本课题的创新点
第27-28页
第二章 水溶性丙烯酸酯感光树脂的合成与结构表征
第28-56页
· 前言
第28页
· 丙烯酸树脂合成反应动力学
第28-30页
· 三元共聚原理
第28-29页
· 共聚物组成的估算
第29-30页
· 实验部分
第30-34页
· 原料与试剂
第30-31页
· 设备与仪器
第31页
· 合成路线
第31-32页
· 合成步骤
第32页
· 测试表征
第32-34页
· 结果与讨论
第34-51页
· 丙烯酸树脂合成基本配方及工艺条件的确定
第34-39页
· 引发剂用量对树脂的影响
第39-41页
· 单体投料比对树脂的影响
第41-45页
· HEMA 对树脂的影响
第45-48页
· 正交实验
第48-51页
· 结构与表征
第51-54页
· 红外光谱分析
第51-52页
· GPC 测试分析
第52-53页
· 热重分析
第53-54页
· 本章小结
第54-56页
第三章 环氧丙烯酸酯类感光树脂的合成与结构表征
第56-71页
· 前言
第56页
· 实验部分
第56-60页
· 实验装置
第56-57页
· 实验原理
第57页
· 合成步骤
第57-58页
· 测试表征
第58-60页
· EA 合成工艺条件的确定
第60-63页
· 温度对反应的影响
第60页
· 催化剂种类对反应的影响
第60-61页
· 催化剂用量对反应的影响
第61-62页
· 投料配比对反应的影响
第62-63页
· 溶剂对反应的影响
第63页
· EB 合成工艺条件的确定
第63-68页
· 反应温度对MA 转化率的影响
第63-64页
· 催化剂种类对MA 转化率的影响
第64-65页
· 催化剂用量对MA 转化率的影响
第65页
· MA 用量对EB 水溶性的影响
第65-66页
· MA 对 UV 固化膜性能的影响
第66-68页
· 结构与表征
第68-70页
· 红外光谱分析
第68-69页
· TG 热重分析
第69-70页
· 本章小结
第70-71页
第四章 UV 光致抗蚀干膜的合成
第71-92页
· 前言
第71页
· 实验部分
第71-75页
· 实验原理
第71-72页
· 实验原料
第72页
· 实验仪器
第72-73页
· 测试表征
第73-75页
· 结果与分析
第75-89页
· 光引发剂对固化速率的影响
第75-77页
· 活性单体含量对固化速率的影响
第77-78页
· 光引发剂对凝胶含量的影响
第78-80页
· 活性单体对凝胶含量的影响
第80-81页
· 涂层厚度对凝胶含量的影响
第81-82页
· 光引发剂对固化膜Na_2C0_3 水溶液溶解性的影响
第82-84页
· 活性单体对固化膜Na_2C0_3 水溶液溶解性的影响
第84-85页
· 光引发剂对固化膜摆杆硬度的影响
第85-87页
· 活性单体对固化膜摆杆硬度的影响
第87-88页
· 耐酸碱性测试
第88-89页
· 结构与表征
第89-91页
· 红外光谱分析
第89页
· GPC 分析
第89-90页
· 热重分析
第90-91页
· 本章小结
第91-92页
结论
第92-94页
参考文献
第94-99页
攻读硕士学位期间取得的研究成果
第99-100页
致谢
第100-101页
附件
第101页
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