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聚合物前驱体法制备SrBi2Ta2O9铁电陶瓷和薄膜及其性能研究
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聚合物前驱体法制备SrBi2Ta2O9铁电陶瓷和薄膜及其性能研究
论文目录
 
摘要第1-6页
Abstract第6-11页
第一章 绪论第11-31页
　　· 铁电材料概述第11-14页
　　　　· 铁电材料第11-12页
　　　　· 铁电材料的分类第12-13页
　　　　· 铁电材料的发展历史及现状第13-14页
　　· 铁电材料的应用第14-17页
　　　　· 铁电存储器第15-16页
　　　　· 热释电红外探测器件第16页
　　　　· 微电子机械系统第16-17页
　　· 铁电薄膜制备技术第17-23页
　　　　· 磁控溅射法第18页
　　　　· 脉冲激光沉积法第18-19页
　　　　· 金属有机化学气相沉积法第19-20页
　　　　· 溶胶-凝胶法第20-22页
　　　　· 四种铁电薄膜制备工艺的比较第22-23页
　　· SrBi_2Ta_2O_9 铁电材料第23-28页
　　　　· SBT 的结构第24-25页
　　　　· 化学组成对SBT 铁电性能的影响第25-27页
　　　　· SBT 铁电陶瓷的制备第27-28页
　　· 本论文的主要工作第28-31页
　　　　· 问题的提出第28-29页
　　　　· 主要研究内容第29-31页
第二章 实验部分第31-37页
　　· 实验方法第31-33页
　　　　· 实验设备及分析仪器第31-32页
　　　　· 主要化学试剂第32-33页
　　　　· 溶胶-凝胶实验过程第33页
　　· 陶瓷样品的制备第33-34页
　　· 样品结构分析与性能表征第34-37页
　　　　· 相结构分析第34-35页
　　　　· 形貌分析第35页
　　　　· 红外光谱分析第35页
　　　　· 热重分析第35-36页
　　　　· 介电性能测试第36页
　　　　· 铁电性能测试第36-37页
第三章 原料的处理与钽酸锶铋溶胶的制备第37-47页
　　· 新鲜水合Ta_2O_5 的制备第37-39页
　　　　· 水热法制备新鲜水合Ta_2O_5第37-39页
　　　　· HF 酸溶解Ta_2O_5 制备新鲜水合Ta_2O_5第39页
　　· 钽的有机前驱液制备第39-41页
　　　　· 草酸钽的制备第39-40页
　　　　· 柠檬酸钽的制备第40-41页
　　· 钽酸锶铋(SBT)溶胶的制备第41-45页
　　　　· 以氟钽酸和草酸钽做钽源制备SBT 溶胶第42页
　　　　· 以柠檬酸钽做钽源制备SBT 溶胶第42-45页
　　　　　　· PH 值的确定.第43-44页
　　　　　　· 柠檬酸和乙二醇用量的确定第44-45页
　　· SBT 溶胶的红外光谱分析第45-46页
　　· 本章小结第46-47页
第四章 钽酸锶铋粉体和陶瓷的制备、改性以及性能研究第47-62页
　　· SBT 粉体的制备第47-52页
　　　　· SBT 凝胶的红外光谱分析第47-48页
　　　　· SBT 凝胶的热重分析第48-50页
　　　　· 粉体相组成的XRD 分析第50-52页
　　· SBT 陶瓷的制备第52-56页
　　　　· 相结构分析第52-53页
　　　　· 介电性能分析第53-55页
　　　　· 铁电性能分析第55-56页
　　· Ca 掺杂SBT 陶瓷研究第56-60页
　　　　· 相组成分析第56-57页
　　　　· 介电性能分析第57-59页
　　　　· 铁电性能分析第59-60页
　　· 本章小结第60-62页
第五章 钽酸锶铋铁电薄膜的制备研究第62-71页
　　· SBT 薄膜的制备第62-64页
　　　　· 基片的选择和处理第62-63页
　　　　· 薄膜制备的工艺过程第63-64页
　　· SBT 薄膜制备工艺参数的确定第64-66页
　　　　· 溶胶浓度的确定第64-65页
　　　　· 干燥和热处理制度的确定第65-66页
　　· 不同工艺方法对SBT 薄膜的影响第66-67页
　　· 涂覆次数对薄膜相结构的影响第67-69页
　　· SBT 薄膜的表面形貌第69-70页
　　· 本章小结第70-71页
结论第71-73页
展望第73-74页
参考文献第74-80页
攻读硕士学位期间取得的研究成果第80-81页
致谢第81-82页
附件第82页

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