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面向微纳器件的纳米加工装备与组装工艺的研究
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面向微纳器件的纳米加工装备与组装工艺的研究
论文目录
 
提要第1-10 页
第一章 绪论第10-22 页
　　· 微纳复合薄膜的发展历史第10-12 页
　　· 微纳复合薄膜的前景、分类、结构、性能及其应用第12-15 页
　　　　· 微纳复合薄膜的分类第12-13 页
　　　　· 微纳复合薄膜的结构第13-14 页
　　　　· 微纳复合薄膜的性能第14-15 页
　　· 微纳复合薄膜的重要性第15-17 页
　　· 开展微纳复合薄膜研究的重要意义第17-18 页
　　· 微纳复合薄膜制备技术简介以及研制微纳复合薄膜装置的意义第18-19 页
　　· 本论文研究的意义和目的第19-22 页
　　　　· 本次研究的意义第19-20 页
　　　　· 本论文研究的内容第20-22 页
第二章 微纳复合薄膜制备技术的研究及其制备原理第22-36 页
　　· 微纳复合薄膜制备技术的研究历史第22-27 页
　　· 基于静电作用的微纳复合薄膜制备技术第27 页
　　· 在静电作用下微纳复合薄膜制备的基本原理及过程第27-36 页
　　　　· 常见的静电微纳复合薄膜制备材料第27-28 页
　　　　· 微纳复合薄膜层层制备过程第28-29 页
　　　　· 微纳复合薄膜层层制备的优点第29-30 页
　　　　· 层层制备微纳复合薄膜驱动力第30-31 页
　　　　　　· 微纳复合薄膜静电引力作用的驱动力第30 页
　　　　　　· 微纳复合薄膜氢键作用的驱动力第30-31 页
　　　　　　· 微纳复合薄膜配位键作用的驱动力第31 页
　　　　　　· 微纳复合薄膜电荷转移作用的驱动力第31 页
　　　　　　· 微纳复合薄膜疏水相互作用的驱动力第31 页
　　　　· 影响层层制备微纳复合薄膜的因素第31-36 页
　　　　　　· 离子强度第32-33 页
　　　　　　· 溶液中聚电解质分子的电荷密度第33 页
　　　　　　· 溶液的 pH 值第33-34 页
　　　　　　· 溶剂性质第34 页
　　　　　　· 溶液温度第34-35 页
　　　　　　· 其他第35-36 页
第三章 制备微纳复合薄膜自动制膜装置的设计第36-62 页
　　· 用来制备微纳复合薄膜自动制膜装置的总体方案第37 页
　　· 制备微纳复合薄膜自动制膜装置的机械设计方案第37-46 页
　　　　· 机械结构第37-39 页
　　　　· 机械手的原理与选用第39-42 页
　　　　　　· 机械手的组成第39-40 页
　　　　　　· 机械手的分类第40-41 页
　　　　　　· 机械手自由度第41 页
　　　　　　· 机械手几个重要参数第41-42 页
　　　　　　· 机械手原理第42 页
　　　　· 步进电机的基本原理及其电机的选用第42-46 页
　　　　　　· 感应子式步进电机工作原理第43-45 页
　　　　　　· 本装置步进电机的选择第45-46 页
　　· 制备微纳复合薄膜自动制膜装置的电子控制部分第46-62 页
　　　　· 制膜装置的电路部分第46-52 页
　　　　　　· 系统信号的输出第46-48 页
　　　　　　· 系统信号的输入第48-49 页
　　　　　　· 此装置电路设计第49-52 页
　　　　· 制膜装置应用程序界面设置第52-62 页
　　　　　　· VB 的特点及功能第52 页
　　　　　　· VB 的坐标系统第52-53 页
　　　　　　· 操作界面的设计第53-62 页
第四章 自动制膜装置制备微纳复合薄膜工艺流程第62-71 页
　　· 制备微纳复合薄膜基本流程第62-63 页
　　· 具体实验为例详细说明制备微纳复合薄膜工艺流程第63-71 页
　　　　· 引言第64-65 页
　　　　· 实验部分第65-68 页
　　　　　　· 试验中用到的试剂第65 页
　　　　　　· 聚(4-乙烯基吡啶)锇配合物(PVP-Os)的合成第65-66 页
　　　　　　· 试验中所用到得仪器第66-67 页
　　　　　　· 微纳复合薄膜的制备过程第67-68 页
　　　　· 实验结果及其简单讨论第68-71 页
　　　　　　· 多层膜沉积过程和吸附饱和时间分析第68-69 页
　　　　　　· 不同扫速的循环伏安变化以及影响电流的因素第69-71 页
第五章 结论与展望第71-73 页
　　· 课题总结第71-72 页
　　· 课题展望第72-73 页
参考文献第73-82 页
致谢第82-83 页
摘要第83-85 页
Abstract第85-87 页

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