铬掺杂碳基多功能性薄膜的制备及其性能研究
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铬掺杂碳基多功能性薄膜的制备及其性能研究
论文目录
摘要
第1-6页
Abstract
第6-10页
1 绪论
第10-17页
· 类金刚石薄膜
第10-11页
· 类金刚石薄膜的定义
第10页
· DLC薄膜的结构
第10-11页
· DLC薄膜的性能与应用
第11页
· DLC薄膜的制备方法
第11-13页
· 液相沉积法
第11-12页
· 化学气相沉积法
第12-13页
· 物理气相沉积法
第13页
· 薄膜的成分、结构和形貌表征
第13-14页
· 薄膜的性能优化
第14-15页
· 本文的研究目的及研究内容
第15-17页
2 薄膜的制备、表征与测试
第17-29页
· 镀膜装置及原理
第17-18页
· 薄膜的制备流程
第18-20页
· 薄膜的成分、结构和形貌表征
第20-23页
· 拉曼光谱仪(Raman)
第20-21页
· X射线光电子能谱仪(XPS)
第21-22页
· 原子力显微镜(AFM)
第22页
· 扫描电子显微镜(SEM)
第22-23页
· 薄膜机械力学性能测试
第23-26页
· 薄膜残的余应力
第23-24页
· 膜-基结合力
第24-25页
· 薄膜硬度与弹性模量
第25页
· 薄膜的韧性
第25页
· 薄膜的摩擦学性能
第25-26页
· 薄膜润湿及抗腐蚀性能测试
第26-28页
· 薄膜润湿性能
第26-27页
· 薄膜抗腐蚀性能
第27-28页
· 本章小结
第28-29页
3 Cr掺杂和Cr过渡层对类金刚石薄膜性能的影响
第29-39页
· 实验仪器及耗材
第29-30页
· 薄膜制备工艺参数
第30页
· 薄膜结构、组成与形貌分析
第30-33页
· Raman光谱分析
第30-31页
· XPS分析
第31-32页
· AFM分析
第32-33页
· 薄膜的机械力学性能
第33-37页
· 内应力、膜-基结合强度和韧性
第33-35页
· 硬度与弹性模量
第35页
· 摩擦磨损性能
第35-37页
· 薄膜的抗腐蚀性能
第37-38页
· 本章小结
第38-39页
4 脉冲频率对DLC:Cr薄膜性能的影响
第39-47页
· 实验仪器及耗材
第39页
· 薄膜制备工艺参数
第39-40页
· 薄膜结构、组成与形貌分析
第40-43页
· Raman光谱分析
第40-41页
· XPS分析
第41-42页
· AFM分析
第42-43页
· 薄膜的机械力学性能分析
第43-44页
· 薄膜的耐腐蚀性能
第44-46页
· 本章小结
第46-47页
5 阴极弧电流对DLC:Cr的性能影响
第47-53页
· 实验仪器及耗材
第47页
· 薄膜制备工艺
第47-48页
· 薄膜结构、组成与形貌分析
第48-50页
· Raman光谱分析
第48页
· XPS分析
第48-49页
· AFM分析
第49-50页
· 薄膜的机械力学性能分析
第50-51页
· 薄膜的疏水性能及耐腐蚀性能分析
第51-52页
· 本章小结
第52-53页
6 Cr过渡层对Cr/DLC薄膜结构和性能的影响
第53-59页
· 实验仪器及材料
第53页
· 薄膜制备工艺
第53-54页
· 薄膜结构、组成与形貌分析
第54-57页
· Raman光谱分析
第54-55页
· AFM分析
第55-56页
· 机械力学性能分析
第56-57页
· 疏水抗腐蚀性能分析
第57-58页
· 本章小结
第58-59页
全文结论
第59-60页
致谢
第60-61页
参考文献
第61-67页
附录
第67页
本篇论文共
67
页,
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