声表面波微驱动器及其应用—硕士毕业论文下载



声表面波微驱动器及其应用

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声表面波微驱动器及其应用

论文目录
摘要	第1-8页
ABSTRACT	第8-12页
第一章绪论	第12-30页
· 声表面波技术的发展	第12-13页
· 声表面波器件概述	第13-16页
· 声表面波滤波器	第13-14页
· 声表面波延迟线	第14-15页
· 声表面波谐振器	第15-16页
· 声表面波微驱动器的研究进展	第16-23页
· 微流体处理	第16-20页
· 固体驱动	第20-22页
· 声表面波微驱动器总结	第22-23页
· 微机电系统技术概述	第23-25页
· 论文的结构安排	第25-26页
参考文献	第26-30页
第二章声表面波微驱动器的理论分析	第30-41页
· 体声波	第30-31页
· 声表面波	第31-33页
· 叉指换能器	第33-37页
· 叉指换能器结构	第33-34页
· 叉指换能器的工作原理	第34-35页
· 叉指换能器的δ函数模型	第35-37页
· 压电基片材料的选择	第37-39页
· 本章小结	第39-40页
参考文献	第40-41页
第三章声表面波微驱动器仿真	第41-49页
· 声表面波微驱动器 MATLAB 仿真	第41-44页
· 声表面波微驱动器有限元仿真	第44-48页
· 有限元分析法介绍	第44-45页
· 有限元软件ANSYS 概述	第45页
· 声表面波微驱动器的有限元仿真过程	第45-48页
· 本章小结	第48页
参考文献	第48-49页
第四章声表面波微驱动器的制备工艺	第49-58页
· 两种基本工艺过程	第50-55页
· 干法刻蚀工艺	第50-51页
· 剥离工艺	第51-53页
· 两种工艺对比	第53-55页
· 剥离工艺流程图	第55页
· 声表面波微驱动器的样品图	第55-56页
· 本章小结	第56-57页
参考文献	第57-58页
第五章声表面波微驱动器在微流体领域的应用研究	第58-75页
· 声表面波在微流体介质中的传播原理	第58-59页
· 声表面波微驱动器测试平台	第59-60页
· 声表面波微驱动器在微混合领域的应用	第60-63页
· 声表面波微驱动器在微流体驱动领域的应用	第63-67页
· 声表面波微驱动器在雾化领域的应用	第67-72页
· 雾化机理	第68-69页
· 雾化实验	第69-70页
· 结果讨论	第70页
· 利用雾化器实现微胶囊模型	第70-72页
· 本章小结	第72-73页
参考文献	第73-75页
第六章声表面波微驱动器在固体驱动领域的应用研究	第75-82页
· 声表面波固体驱动器工作原理	第75-76页
· 声表面波固体驱动器的研究	第76-81页
· 线性声表面波固体驱动器	第78-79页
· 平面声表面波固体驱动器	第79-80页
· 结果与讨论	第80-81页
· 本章小结	第81页
参考文献	第81-82页
第七章总结与展望	第82-84页
· 总结	第82-83页
· 展望	第83-84页
附录1 声表面波微驱动器的 APDL 仿真程序	第84-88页
致谢	第88-89页
攻读硕士学位期间已发表或录用的论文	第89页
攻读硕士学位期间申请的发明专利	第89 页

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