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Al掺杂ZnO透明导电薄膜的制备及性能研究

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Al掺杂ZnO透明导电薄膜的制备及性能研究
论文目录
 
摘要第1-5 页
Abstract第5-8 页
1 绪论第8-16 页
  · 研究背景第8-9 页
  · 透明导电氧化物薄膜基本特性及制备方法第9-11 页
  · 透明导电氧化物薄膜研究进展第11-13 页
  · 透明导电氧化物薄膜的应用第13-14 页
  · 项目来源及本文的主要研究工作第14-16 页
2 AZO 透明导电薄膜的理论基础第16-21 页
  · 氧化锌的晶体结构及能带结构第16-17 页
  · AZO 的薄膜的光电学性能第17-19 页
  · AZO 薄膜的生长过程第19-21 页
3 AZO 薄膜的射频磁控溅射工艺制备及性能表征第21-27 页
  · AZO 薄膜的射频磁控溅射制备工艺第21-23 页
  · AZO 薄膜的性能测试及表征第23-27 页
4 不同制备条件对AZO 薄膜结构和性能的影响第27-62 页
  · 衬底材料及衬底温度对薄膜光电学性能的影响第27-35 页
  · 衬底材料及溅射功率对薄膜光电学性能的影响第35-44 页
  · 衬底材料及工作气压对薄膜光电学性能的影响第44-51 页
  · 退火工艺对薄膜光电学性能的影响第51-54 页
  · 氧气、氢气分压对薄膜光电学性能的影响第54-61 页
  · 本章小结第61-62 页
5 AZO 薄膜应用于太阳电池前电极实验第62-73 页
  · 绒面AZO 薄膜的制备方法第62-64 页
  · 冰乙酸浓度对绒面AZO 薄膜的影响第64-69 页
  · 腐蚀时间对绒面AZO 薄膜的影响第69-72 页
  · 本章小结第72-73 页
6 总结与展望第73-75 页
  · 总结第73-74 页
  · 展望第74-75 页
致谢第75-76 页
参考文献第76-81 页
附录1 攻读硕士学位发表学术论文目录第81 页

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