平面线圈感应耦合等离子体中射频电场穿透及功率沉积的理论研究



平面线圈感应耦合等离子体中射频电场穿透及功率沉积的理论研究

平面线圈感应耦合等离子体中射频电场穿透及功率沉积的理论研究

论文目录
摘要	第1-5 页
Abstract	第5-7 页
引言	第7-9 页
1 等离子体源研究概况	第9-13 页
· 背景	第9-10 页
· 感应耦合等离子体装置结构及基本原理	第10-13 页
2 以为平板线性感应耦合等离子体模拟	第13-23 页
· 背景	第13 页
· 理论模型	第13-19 页
· 结果及讨论	第19-23 页
3 二维线性及非线性动力学模型	第23-49 页
· 背景	第23 页
· 二维线性TCP理论模型及数值结果	第23-36 页
· 二维线性TCP理论模型	第23-29 页
· 二维线性TCP结果及分析	第29-36 页
· 二维非线性TCP理论模型及结果分析	第36-49 页
· 二维非线性TCP理论模型	第36-39 页
· 二维非线性TCP数值结果及分析	第39-49 页
4 一维负偏压碰撞鞘层的Child—Langmuir定律的拟和公式	第49-57 页
· 背景	第49-50 页
· 理论模型	第50-53 页
· 数值结果和拟和公式	第53-57 页
结论	第57-59 页
参考文献	第59-61 页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况	第61-62 页
致谢	第62-63 页
大连理工大学学位论文版权使用授权书	第63 页

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